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等離子清洗機對半導體晶圓去膠和封裝預處理

2021-6-2  閱讀(2117)

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專為半導體晶圓去膠和封裝預處理設計的等離子清洗機,采用全自動晶圓搬運系統(tǒng),每個腔室獨立控制,采用多元化配置,滿足大批量生產的需求。

多樣化配置設計,可滿足不同的工藝需求。緊湊的模塊化設計,滿足高產能輸出的需求。

 等離子清洗機對半導體晶圓去膠和封裝預處理的應用:

  • 聚合物剝離

  • 金屬剝離

  • 掩膜材料去除

  • 高劑量離子注入后光刻膠去除

  • 碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、磷化銦生產線光刻膠去除

  • 晶圓表面預處理

  • 手機等離子表面處理設備的應用:

  • 1、手機蓋板:手機蓋板生產中,手機蓋板需要進行鍍膜,鍍膜前為了鍍膜附著力高

  • 2、LED行業(yè)-支架清洗封裝前預處理
    3、手機組裝粘接、攝像頭模組、耳機粘接、手機后蓋烤漆、手機蓋板活化
     

 

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