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有機(jī)半導(dǎo)體材料—PLASMA等離子清洗機(jī)活化改性處理，提高遷移率
目前，有機(jī)半導(dǎo)體材料主要分為兩類：小分子材料和聚合物材料。有機(jī)半導(dǎo)體按其溝道載流子視點(diǎn)的不同可分為P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體。在P型半導(dǎo)體中，大多數(shù)的載流子是空穴結(jié)構(gòu)，而N型半導(dǎo)體的載流子是電子結(jié)構(gòu)。除必要的穩(wěn)定性外，P型半導(dǎo)體還具備下列條件：(1)HOMO能級高，能與電極形成歐姆接觸，使空穴能順利注入；(2)有較強(qiáng)的給電子能力。常見的包括：稠環(huán)芳烴，例如并五苯(Pentacene)、紅熒烯(Rubrene)；聚合物，例如聚合物(3-己基噻吩)，它們能通過plasma等離子處理機(jī)等離子處理來激活和修飾有機(jī)半導(dǎo)體。采用等離子體潤飾絕緣層表面，使有機(jī)材料的沉積更加均勻、平整，從而大大提高了器件的遷移率，改進(jìn)了器件的功能，等離子清洗機(jī)對有機(jī)半導(dǎo)體器件的活化、改性作用，使器件的性能得到明顯改善。
等離子清洗機(jī)半導(dǎo)體和微電子應(yīng)用舉例：
粘片前進(jìn)行處理，提高芯片附著力；
鍵合前進(jìn)行處理，提高鍵合強(qiáng)度；
塑模和封裝前進(jìn)行處理，減少封裝分層；
