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等離子體清洗機(jī)作為一種的干式清洗技術(shù),具有綠色環(huán)保等特點(diǎn),又叫等離子處理機(jī);隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,等離子清洗機(jī)也在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用越來越多。
等離子處理機(jī)在清洗過程不產(chǎn)生任何污染,處理效果非常均勻穩(wěn)定。可處理各種類型和形狀的產(chǎn)品,而且使用范圍廣泛,電腦玻璃蓋板,汽車,航天,塑膠,印刷包裝、電子類產(chǎn)品,醫(yī)療生物,紡織工業(yè)、復(fù)合材料、金屬材料及其它機(jī)械零配件局部和整體加工等表面清洗處理、刻蝕、活化等。
等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝上的應(yīng)用
等離子體清洗設(shè)備具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。等離子清洗機(jī)常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強(qiáng)電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機(jī)在去膠工藝中具有操作方便、效率高、表面干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn),而且等離子清洗機(jī)不用酸、堿及有機(jī)溶劑等,因此越來越受到人們重視。