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等離子體清洗機(jī)能金屬、陶瓷、塑料、玻璃等表面的有機(jī)污染物,并顯著改變這些表面的附著力和焊接強(qiáng)度。電離過(guò)程易于控制和安全重復(fù)。等離子清洗機(jī)的表面處理是提高產(chǎn)品可靠性和工藝效率的關(guān)鍵,等離子清洗機(jī)的表面活化能提高大多數(shù)物質(zhì)的性能:清潔度、親水性、拒水性、內(nèi)聚性、可伸縮性、潤(rùn)滑性和耐磨性。
等離子清洗機(jī)(Plasma Cleaner)又被稱(chēng)為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合,通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.
半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)晶圓清洗、光刻膠殘留去除、塑封前發(fā)黑等。可加工的材料有硅片、玻璃基板、陶瓷基板、ic載板、銅引線框等,plasma等離子清洗機(jī)對(duì)玻璃表面進(jìn)行親水處理,玻璃處理前留下水痕跡,處理后明顯疏水無(wú)痕跡。玻璃改性采用等離子表面處理機(jī),具有原材料消耗低、成本低、產(chǎn)品附加值高的特點(diǎn)。
等離子清洗機(jī)優(yōu)化了玻璃涂層、粘合、薄膜去除工藝,等離子表面處理機(jī)的改性應(yīng)用于電容器、電阻手機(jī)觸摸屏等需要精加工的玻璃中。等離子清洗機(jī)處理解決玻璃粘合、印刷和電鍍等問(wèn)題。
等離子清洗機(jī)在LCD液晶行業(yè)中的應(yīng)用
在玻璃基板(LCD)上安裝裸芯片IC(裸芯片IC)的COG工藝中,當(dāng)芯片在高溫下粘結(jié)硬化時(shí),基板涂層的成分沉淀在粘結(jié)填料的表面。有時(shí),銀漿和其他連接劑溢出來(lái)污染粘合填料。如果在熱壓結(jié)合工藝前通過(guò)等離子清洗機(jī)去除這些污染物,可大大提高熱壓結(jié)合的質(zhì)量。此外,由于提高了裸芯片的基板與IC表面之間的潤(rùn)濕性,LCD-COG模塊的鍵合緊密性也得以提高,并且線路腐蝕問(wèn)題也得以減少。