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等離子清洗機去除晶圓光刻膠

2022-3-25  閱讀(1196)

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等離子清洗機應用于晶圓加工、芯片封裝、傳感器、精密電子和醫(yī)療器械等領域,等離子清洗機不會改變材料表面特性和外觀,能夠?qū)Σ牧献龅?清洗,工藝可控,沒有污水排放,對環(huán)境比較友好等等。


等離子清洗機(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂.


等離子體清洗機應用于光電、電子、聚合物科學、生物醫(yī)學、微流體力學等領域。例如:準確清洗小零件和微零件;涂膠前激活塑料零件;腐蝕和去除聚四氟乙烯、光刻膠等各種材料;以及疏水和親水涂層。減摩涂層等零件。等離子清洗機還可以處理金屬。半導體。氧化物和大多數(shù)聚合物材料;可以精細清洗整體、局部和復雜的結(jié)構(gòu);等離子體清洗過程易于控制、重復和自動化。

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晶圓清潔-等離子清洗機用于在晶圓凸點工藝前去除污染,還可以去除有機污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化。

晶圓蝕刻-等離子清洗機預處理晶圓的殘留光刻膠和BCB,重新分配圖形介電層、線/光刻膠蝕刻,提高晶圓材料表面的附著力,去除多馀的塑料密封材料/環(huán)氧樹脂,還有其它的有機污染物,提高金焊料凸點的附著力,減少晶圓壓力破碎,提高旋轉(zhuǎn)涂膜的附著力



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