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柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司
主營產(chǎn)品： Brookfield質(zhì)構(gòu)儀,HAAKE擠出機,日立掃描電鏡 |
公司信息
YAMATO雅馬拓等離子清洗機 YSP600U
| 參考價 | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 型號
- 品牌
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 所在地 上海市
樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合
YAMATO雅馬拓等離子清洗機 YSP600U用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
● 清洗各類基板。
● 電子部品、材料表面改質(zhì)。
● 去除有機物和自然氧化膜。
YAMATO雅馬拓等離子清洗機 YSP600U特點
● 體積小，節(jié)省空間。
● 選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
● 更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
● 可通過操作面板自由切換等離子模式。
● 配備冷卻反應(yīng)臺。
內(nèi)槽
技術(shù)規(guī)格
型號 | YSP600U | YSP2KU |
模式 | RIE（DP模式選購） | |
高頻輸功率 | 600W | 2000W |
反應(yīng)臺尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
反應(yīng)氣體 | 2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） | |
反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 | |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 | |
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