SAT-5D粉末等離子清洗機主要應用：

1.表面清潔

2.表面活化  

3.鍵合  

4.去膠  

5.金屬還原  

6.簡單刻蝕  

7.去除表面有機物  

8.疏水實驗  

9.鍍膜前處理等

SAT-5D粉末等離子清洗機主要特點：

1．實時檢測和顯示真空度，真空度準確使得機器在智能控制下有了可靠的依據(jù)

2.自動模式下，真空啟動值可以自由設定，（范圍：20—80帕），這樣就為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環(huán)境，使得輝光保持99%純度，有力的保證了實驗效果的準確性和可靠性.

3．艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用防低腐蝕

4.采用電容式 Plasma激發(fā)，實驗效果穩(wěn)定，均勻可靠

5．采用薄膜按鍵+液晶屏顯示控制，手動，自動兩種模式任意切換

6．程序化設計，預先編輯好程序，儀器自動完成實驗

7.無需任何耗材，使用成本低，無需特殊進行維護，在日常使用中保持儀器清潔即可，密閉真空環(huán)境下完成實驗避免二次污染

技術規(guī)格：

1、艙體尺寸： 230X150（直徑）mm ，材質：不銹鋼

2、內置轉鼓,載物裝置方形石英瓶尺寸：110*60毫米,建議裝料1/5到1/4比較合適

3、轉鼓轉速設置六檔可調（單位：轉/分）：1檔位：2.5    2檔位：5    

    3檔位：7.5     4檔位：10    5檔位：12.5       6檔位：15

4、頻率：13.56MHz 頻率偏移量＜0.2MHz  電源220V/50Hz

5、射頻功率:150W，10到150W無極可調，精度：1瓦

6、氣路設置：三氣路（兩路進氣，一路放空），可以選配內置MFC控制,

     氣體穩(wěn)定時間：1分鐘  

基本配置：

主機 + 真空系統(tǒng)（真空泵 油霧過濾器  真空管  法蘭） + 外加氣體軟管   樣品托盤 + 說明書 + 電源線 + 合格證