陳霞
銷售
掃一掃，微信聯系
18922517093
當前位置：秋山科技（東莞）有限公司>>水質檢測設備>>流量計>> lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC 便攜式超聲波流量計
lintec高性能質量流量計LM-3000L 便攜式超聲波流量計
lintec快速響應質量流量控制器MC-7000 便攜式超聲波流量計
lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C 便攜式超聲波流
lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S 便攜式超聲波流量計
lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC 便攜式超聲波流量
lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC
高溫質量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環(huán)境中。
通過將高溫氣體接觸部分與熱敏基板部分分離，可以在高溫下控制氣體。
塊體采用SUS-316L，金作為密封材料，應對腐蝕性氣體。
作為選項，還可以選擇防止液化氣體再液化的低壓差規(guī)格和專用于加熱氣體接觸部分的MFC加熱器塊。
最高工作溫度最高120°C
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
RS-485 通信
兼容液化氣
加熱塊
CVD 和 ALD 的源氣體不一定是室溫和壓力下的氣體。 液體或固體原料通常在室溫和壓力下使用。 液體和固體在室溫下產生的氣體較少，因此很難使用MFC控制流量，MFC使用壓差來流動氣體。 因此，MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產生壓差來確保的。 MC-3000L-TC 能夠進行高溫控制和低壓差工作壓力，是液化和升華氣體流量控制的理想選擇。
lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標準 | 最高 F.S. | 密封 | |
| 低 | 80~100°C | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | 金 |
| 高 | 100~120°C | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | 金 |
* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。
請輸入賬號
請輸入密碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，環(huán)保在線對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
環(huán)保在線