性能

• 可用量程：-5000至+5000 slpm；最小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號）
• 標準精度：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
• 高精度（選配）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準控制器響應時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單

• MCDW系列低壓損雙向氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件