項目背景：該超純水處理系統(tǒng)應(yīng)用于百級無塵室內(nèi)中，該項目對超純水處理要求高，原水水質(zhì)為企業(yè)自來水要求，出水要求要達(dá)到百級芯片清洗水。進(jìn)水經(jīng)過預(yù)處理工藝，要進(jìn)入二級反滲透膜工藝，對水質(zhì)進(jìn)行除鹽過濾。同時，要進(jìn)行EDI深度除鹽處理設(shè)計，在末端再經(jīng)過TOC脫除器脫除有機物以及拋光混床進(jìn)一步精處理，最終經(jīng)過超濾膜過濾后，出水水質(zhì)就可以滿足用水點的水質(zhì)要求。

項目工藝：

水質(zhì)要求：超純水的水質(zhì)指標(biāo)要求：電導(dǎo)率≥18兆歐、TOC＜3ppb、particle（≥0.1um）＜3pcs/mL

現(xiàn)場照片：

項目實施：2020年5月進(jìn)場，7月份完成建設(shè)并投入運行。