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赫爾納貿(mào)易(大連)有限公司

主營產(chǎn)品: PPSU接頭,PSI5接口,進(jìn)口插桶泵,車門關(guān)閉速度測試儀,jutec隔熱服,hptech燃油泵,3M摩擦墊片

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86-0411-87187730
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真:
86-0411-87317760
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海航路9號
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EFM 3i赫爾納供應(yīng)德國focus蒸發(fā)器EFM 3s
赫爾納供應(yīng)德國focus蒸發(fā)器EFM 3s
參考價 15000
訂貨量 1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 EFM 3i
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 大連市

更新時間:2024-06-11 15:32:26瀏覽次數(shù):1455

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【簡單介紹】
操作壓力 常壓 外形 螺旋管式
蒸發(fā)面積 520㎡ 重量 2kg
功率 3500kw 加工定制
結(jié)構(gòu)形式 立式 外形尺寸 102*980mm
用途 工業(yè)
赫爾納供應(yīng)德國focus蒸發(fā)器EFM 3s focus蒸發(fā)器EFM4具有與 EFM3相同的特性,但是用于在直徑大約50毫米的襯底上沉積。三個不同的出口孔可以使蒸發(fā)面積準(zhǔn)確地適應(yīng)樣品的大小。

赫爾納供應(yīng)德國focus蒸發(fā)器EFM 3s

赫爾納供應(yīng)德國focus蒸發(fā)器EFM 3s

赫爾納貿(mào)易優(yōu)勢供應(yīng),德國總部直接采購,近30年進(jìn)口工業(yè)品經(jīng)驗(yàn),原裝產(chǎn)品,為您提供一對一好的解決方案貨期穩(wěn)定。

公司簡介:

"聚焦""聚焦"電子公司作為公司和擁有者的德國公司正在合作。焦點(diǎn) 位于哈丁斯坦,距離法蘭克福機(jī)場僅30分鐘車程。聚焦電子 其設(shè)施位于工業(yè)化的東德核心之一萊比錫市。

focus蒸發(fā)器主要產(chǎn)品:

focus蒸發(fā)器

focus離子源

focus蒸發(fā)器產(chǎn)品型號:

EFM 3i

EFM 3s

EFM 4

focus蒸發(fā)器產(chǎn)品特點(diǎn):

EFM3EFM3的基礎(chǔ)上增加了一個額外的電極。在 EFM 系列的產(chǎn)品中,蒸發(fā)束的一部分在加熱過程中被電子轟擊電離。這些離子被通量監(jiān)測電極捕獲。

focus蒸發(fā)器產(chǎn)品應(yīng)用:

focus蒸發(fā)器由于蒸發(fā)劑相對于接地樣品處于高電壓下,剩余的離子可能在基體表面產(chǎn)生缺陷并沉積能量。為了產(chǎn)生中性束,在 EFM3s 的抑制電極上施加一個額外的電壓。focus蒸發(fā)器附加電壓由 EVC 300EVC 100供電。

focus蒸發(fā)器EFM3i 是設(shè)計來促進(jìn)層層增長的情況下,它不會自然發(fā)生。它允許控制目標(biāo)材料的蒸發(fā),并同時產(chǎn)生離子,造成額外的表面缺陷(離子束輔助沉積,IBAD)。focus蒸發(fā)器這些離子可以通過蒸發(fā)靶材的固有過程產(chǎn)生,也可以通過集成氣體入口的幫助從惰性氣體中產(chǎn)生。離子通過靜電透鏡聚焦到基片上。focus蒸發(fā)器這種聚焦透鏡可以調(diào)節(jié)目標(biāo)沉積區(qū)域內(nèi)離子與中性粒子的比例,從而誘導(dǎo)額外的缺陷密度。另外敏感的襯底材料可以通過排斥透鏡電壓來防止離子轟擊(參見 EFM3s)。用的 EVC 300i 電源不支持蒸發(fā)過程,還提供額外的透鏡電壓,包括一個樣品電流表。

focus蒸發(fā)器EFM4具有與 EFM3相同的特性,但是用于在直徑大約50毫米的襯底上沉積。三個不同的出口孔可以使蒸發(fā)面積準(zhǔn)確地適應(yīng)樣品的大小。通過選擇適當(dāng)?shù)嫩釄搴碗娮邮β?,可以?shí)現(xiàn)蒸發(fā)速率從每分鐘1/10單層到每秒1000多單層不等。focus蒸發(fā)器EFM 4適用于達(dá)700毫米3的坩堝容量。有效的水冷卻了低背景壓力(通常在10-10毫巴范圍內(nèi)) ,使在高蒸發(fā)溫度下長時間運(yùn)行。由于大的蒸發(fā)面積的目標(biāo)是運(yùn)行的 EFM4EVC300電源是合適的配置。

focus蒸發(fā)器基于 EFM3蒸發(fā)器的設(shè)計理念,三重蒸發(fā)器 EFM3T 具有三個獨(dú)立的單元,用于蒸發(fā)來自電線、電桿或坩堝的各種材料。focus蒸發(fā)器這三個單獨(dú)的電池在距離出口孔約93毫米處(距安裝法蘭254毫米)有交叉梁,以蒸發(fā)區(qū)域的大重疊。每個電池配備有單獨(dú)的燈絲和高壓電源,以防止串?dāng)_。三個獨(dú)立的通量監(jiān)測器能夠控制化合物的化學(xué)計量生長。整體多位置快門使劑量和同時或連續(xù)蒸發(fā)產(chǎn)生例如格子或多層。focus蒸發(fā)器通過可選的快門機(jī)動化和 PC 軟件工具 Multi Epitass 完成。沉積區(qū)域由三個孔中的一個孔的選擇決定。三個蒸發(fā)目標(biāo)是獨(dú)立地安裝在三個25毫米 Z 偏移對準(zhǔn)。這一功能允許蒸發(fā)棒與多口袋儀器。focus蒸發(fā)器目標(biāo)材料可以很容易地從后方(3xNW16CF)填充。一個電源可以順序地操作所有三個單元。在共同蒸發(fā)的情況下,每種材料都需要一個單獨(dú)的電源。




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