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低溫等離子廢氣處理設備工作原理是采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子物質，使廢氣凈化。
在處理過程中，當氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室(PRC)。反應室分成149根六邊形管子，每根管子的 有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節(jié)高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產生放電現象。
一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。
同時注入環(huán)境或者二級氣體來優(yōu)化反應室的濕度和溫度登記，與此同時加入離子來 反應室內的反應。這種冷離子體處理方法使氣體在低溫下進行“氧化"。
低溫等離子體去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→電子
(2) 電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子 先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
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