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厭氧技術發(fā)展過程大致經歷了三個階段：
*階段(1860-1899年)：簡單的沉淀與厭氧發(fā)酵合池并行的初期發(fā)展階段。這個發(fā)展階段中，污水沉淀和污泥發(fā)酵集中在一個腐化池(俗稱化糞池)中進行，泥水沒有進行分離。
第二階段(1899-1906年)：污水沉淀與厭氧發(fā)酵分層進行的發(fā)展階段。
第三階段(1906-2001年)：獨立式營建的高級發(fā)展階段。這個發(fā)展階段中，沉淀池中的厭氧發(fā)酵室分離出來，建成獨立工作的厭氧消化反應器。
與此相對應的是，厭氧生物處理技術的反應器主體也經歷了三個時代。
*代厭氧反應器是以普通厭氧消化池(CADT)，厭氧接觸工藝(ACP)為代表的低負荷系統。
第二代反應器是20世紀60年代末以在反應器內保持大量的活性污泥和足夠長的污泥齡為目標，利用生物膜固定化技術和培養(yǎng)易沉淀厭氧污泥的方式開發(fā)出的。如厭氧濾器(AF)、厭氧流化床(AFB)、厭氧生物轉盤(ARBCP)、上流式厭氧污泥床(IAASB)、厭氧附著膨脹床(AAFEB)等。其中UASB反應器為應用較廣的反應器，在其為代表的第二代反應器的研究與應用的基礎上開發(fā)出了新一代反應器。
第三代厭氧反應器是在將固體停留時間和水力停留時間相分離的前提下，使固液兩相充分接觸，從而既能保持大量污泥又能使廢水和活性污泥之間充分混合、接觸以達到真正高效的目的。目前研究較多的有：厭氧顆粒污泥膨脹床(EGSB)、厭氧內循環(huán)(IC)等。
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由于微生物能夠通過自身的新陳代謝的生理功能，氧化分解環(huán)境中的有機物并將其轉化為穩(wěn)定的無機物，生物法處理廢水就是利用微生物的這一功能，并采用一定的人工技術措施，使廢水中的有機污染物得以降解，從而達到凈化廢水的目的。
生物法在廢水處理中應用極廣，尤其對于處理城市廢水，但也由于微生物降解廢水中的有機物質速度緩慢，這樣廢水就需較長的水力停留時間，從而導致廢水的生物處理法一般都需要龐大的構筑物。況且，洗浴廢水中還含有陰離子洗滌劑等難生物降解的物質。特別是洗浴廢水中有機物含量較低，微生物所需要營養(yǎng)物質不足，微生物容易進行內源消耗，不利于啟動過程中活性污泥及生物膜的培養(yǎng)馴化，給廢水回用系統的運行管理增加了難度。
因此，目前用生物法回用處理洗浴水一般都考慮與其他技術結合。如上海寶剛公司的洗浴廢水回用處理工藝，是以生物活性炭為住的處理方法，該工藝的日處理洗浴廢水能力為500立方米/d ,處理量相當可觀，處理后廢水主要回用于綠化澆灌以及工業(yè)補充等用途。
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