聯(lián)系電話
湖南威耐斯新材料科技有限公司
中級會員·8年
VC-DJR-150半導體保溫管道電加熱夾套
| 參考價: | ￥ 1000 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- VC-DJR-150 產(chǎn)品型號
- 威耐斯 品牌
- 生產(chǎn)商 廠商性質
- 長沙市 所在地
訪問次數(shù)：3305更新時間：2023-11-20 09:50:14
聯(lián)系我們時請說明是環(huán)保在線上看到的信息，謝謝!
唐燁
經(jīng)理
掃一掃，微信聯(lián)系
- 聯(lián)系人：
- 唐燁
- 電話：
- 0731-82568023
- 手機：
- 18874871688
- 傳真：
- 86-731-82568823
- 地址：
- 湖南長沙高新技術開發(fā)區(qū)谷苑路166號
- 個性化：
- www.hnvcint.com
- 手機站：
- m.hnvcint.com
- 網(wǎng)址：
- www.hnvenice.com
掃一掃訪問手機商鋪
微信掃碼進入微名片
產(chǎn)品簡介
| 材質 | 鎳鉻 | 導熱系數(shù)（常溫） | 0.03 |
|---|---|---|---|
| 等級 | A | 低溫彎折≤ | 90 |
| 斷裂伸長率 | 800N/cm | 加工定制 | 是 |
| 抗彎強度 | 優(yōu) | 適用領域 | 半導體、電子 |
產(chǎn)品介紹
半導體保溫管道電加熱夾套的前因：
由于半導體生產(chǎn)常常需要使用各種化學氣體，這些氣體也會隨著工藝的過程，由真空泵從反應腔體抽出，形成各種有毒有害的工藝尾氣，這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導體生產(chǎn)廠家都需要對工藝設備尾氣進行有效的處理，以減少對環(huán)境的污染。因此，在半導體制造機臺中，尾氣處理裝置是半導體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中，氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，經(jīng)過在真空反應室內的一系列反應后，氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結晶，因此尾氣處理過程中結晶體會附著在排氣管的管壁上，極易對排氣管進行堵塞，同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD，同時提高生產(chǎn)成本。
需要加熱馬甲的部門：
DIFF、ETCH、CVD、EPI部門，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。
加熱馬甲作用：
通過升高管路工作溫度，減少管內介質結晶，避免管路堵塞，減少PM周期，提高產(chǎn)能。
加熱馬甲溫度要求：
PVD：150°、170°（也有180°）
ETCH：80°-120°
半導體保溫管道電加熱夾套
相關產(chǎn)品
-
￥100 -
￥1000
