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韓國MAT電加熱水洗式尾氣處理設(shè)備

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產(chǎn)品型號MAT507BWA

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更新時間：2022-06-14 10:13:11瀏覽次數(shù)：1563次

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西能光伏科技有限公司

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商鋪產(chǎn)品：3條

所在地區(qū)：陜西西安市

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產(chǎn)品簡介

韓國MAT尾氣處理設(shè)備(Scrubber)適用于：非晶硅薄膜太陽能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中產(chǎn)生的廢氣.

處理的氣體包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。

詳細介紹

韓國MAT尾氣處理設(shè)備（Scrubber）適用于：非晶硅薄膜太陽能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中產(chǎn)生的廢氣.

處理的氣體包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。

主要有以下優(yōu)點：

1. 整機設(shè)計美觀, 安全標準。

2．擁有處理量特大﹑效率高﹑及長時間運轉(zhuǎn)。

3．操作容易上手、保養(yǎng)簡單快速、零料件經(jīng)久耐用，性價比高

4．燃燒反應(yīng)室可定時自動清潔, 長時間運轉(zhuǎn)效率穩(wěn)定。

System type
    Heat-Wet

Features
   * Easy Maintenance : Long PM term
   * Vertical structure : Strong for powder clogging
   * Reduced footprint
   * High performance

Capacity & Dimensions
    500SLM
   700mm（W）x850mm（D）x1610mm（H）

Utility
    Power（220V）, CDA, N2, Water, Drain, Exhaust