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平整度低至0.1mm 芯密度高達230kg/m³ 單元尺寸小于3cm² 應(yīng)用于精密電子顯微鏡的光學(xué)隔震臺

美國TMC設(shè)計和制造適用于納米技術(shù)領(lǐng)域的*建筑地面光學(xué)減震平臺，TMC光學(xué)隔震平臺支持超精密測量、儀器和制造。TMC提供多種系列的光學(xué)減震平臺和光學(xué)面包板，包括CleanTop光學(xué)平臺性能系列，CleanTop光學(xué)平臺專業(yè)系列，用剛性聯(lián)軸器拼接光學(xué)平臺，CleanTop光學(xué)面包板，Hybrid Honeycomb面包板，此外TMC還提供光學(xué)平臺支撐系統(tǒng)，適用于CleanTop光學(xué)平臺和面包板的各種支腿系統(tǒng)。有氣動、壓電、混合隔震或無額外隔震性能的支腿可供選擇。

TMC光學(xué)平臺長期以來一直堅持光學(xué)頂部的干式阻尼優(yōu)于油基阻尼器的理念。油的特性會隨著時間的推移而改變，而隱藏的油箱總是有被用戶在改造系統(tǒng)時刺穿的危險。TMC光學(xué)隔震平臺的結(jié)構(gòu)共震阻尼方法一直基于“寬帶阻尼"的方法?！罢{(diào)諧阻尼"或使用調(diào)諧質(zhì)量阻尼器與頂部彎曲模式異相共震是一種危險的方法。首先，它假設(shè)阻尼器可以設(shè)置為與頂部的共震頻率*一致。光學(xué)頂部的共震頻率將根據(jù)負(fù)載、負(fù)載分布、溫度甚至阻尼器本身而變化。因此，在實踐中，難以將阻尼器調(diào)諧到頂部的共震。此外，它還假設(shè)，當(dāng)需要注意許多二次彎曲和扭曲模式時，只有低共震頻率才需要阻尼。更重要的是，采用調(diào)諧質(zhì)量阻尼器來抑制結(jié)構(gòu)共震的概念并不完善。調(diào)諧阻尼僅在阻尼離散共震時才有效，并不適合用于阻尼寬帶結(jié)構(gòu)共震。簡單來說，通過創(chuàng)建聯(lián)接的質(zhì)量系統(tǒng)，調(diào)諧阻尼器將結(jié)構(gòu)共震“分裂"成兩個共震。TMC光學(xué)減震平臺專有的寬帶阻尼技術(shù)是阻尼光學(xué)頂部的有效方法。這種方法適用于整個感興趣的頻率范圍，在頂部的主要、次要和更高的共震頻率下耗散能量。此外，增加頂部的重量不會影響性能。TMC隔震臺的光學(xué)頂部具有*的保證性能水平。此外，通過三級寬帶阻尼和三種環(huán)境選擇，TMC隔震平臺在性能水平的選擇方面具有很大的靈活性。標(biāo)準(zhǔn)阻尼水平提供的順應(yīng)性水平比表中的水平高四倍。建議僅對非敏感應(yīng)用采用低阻尼水平。

CleanTop光學(xué)隔震臺的主要特點：

-防溢光學(xué)頂部

-全鋼光學(xué)頂部

-無油光學(xué)頂部

-對齊到螺紋孔陣列的蜂窩芯

-帶成型孔而不是鉆孔的輕質(zhì)面包板

-與真空兼容的光學(xué)頂部

CleanTop光學(xué)減震平臺是光學(xué)頂部的另一項創(chuàng)新，TMC光學(xué)減震平臺已經(jīng)在光學(xué)頂部行業(yè)創(chuàng)下了多個“奇跡"。CleanTop的具體特點如下：

-表面的液體溢出物受到限制，無法到達頂部的蜂窩芯

-芯經(jīng)過全面的清潔和干燥，沒有殘留的螺紋切削油，從而不會釋放氣體

-極其干凈的螺紋孔使螺釘可以平穩(wěn)和輕松地插入

-可以輕松取出掉入孔中的小零件

-由于在頂部表面使用危險化學(xué)品時化學(xué)品不會滲入芯內(nèi)，因此不小心接觸芯的化學(xué)品不會對健康造成危害

CleanTop光學(xué)減震平臺的應(yīng)用領(lǐng)域：

-用于電生理學(xué)、IVF和成像的無聲工作表面可實現(xiàn)更高的分辨率和更精確的測量。

-*的消震系統(tǒng)創(chuàng)造了摩爾定律所要求的更安靜環(huán)境。

-CleanTop®光學(xué)平臺可提供從干涉儀到拍瓦激光器等光學(xué)系統(tǒng)所需的超穩(wěn)定支撐。

-適用于SEM、TEM和其他帶電光束工具的完整環(huán)境解決方案。

-精確的震動控制，可實現(xiàn)精確的測量。-微電子/微機電系統(tǒng)制造

CleanTop光學(xué)隔震臺性能系列：          

TMC光學(xué)隔震臺和隔震平臺采用全鋼結(jié)構(gòu)，具有市場上比較高的芯密度和比較小的蜂窩單元面積，可提供業(yè)界的性能和剛性。CleanTop性能系列具有三個阻尼性能級別以及適用于各種應(yīng)用的多種配置選項。各個光學(xué)減震平臺甚至可以機械連接，以便在不損失阻尼性能的情況下創(chuàng)建復(fù)雜的剛性工作臺形狀。

CleanTop光學(xué)平臺性能系列包括三種型號系列：

研究級784系列：提供優(yōu)異的光學(xué)頂部性能，它結(jié)合了小的單元尺寸、高的芯密度、*的CleanTop®設(shè)計、全鋼結(jié)構(gòu)以及市場上高水平的結(jié)構(gòu)阻尼。研究級CleanTop適用于苛刻的應(yīng)用，包括干涉儀、全息和超快激光器以及嚴(yán)重的地面震動環(huán)境。為了獲得優(yōu)異的整體震動控制效果，請考慮將此頂部與LaserTable-Base™支架（混合空氣/壓電、2級消震系統(tǒng)）相結(jié)合。

科學(xué)級783系列：科學(xué)級具有與研究級相同的芯尺寸、密度、CleanTop杯和減少阻尼的全鋼結(jié)構(gòu)等設(shè)計特點?？茖W(xué)級阻尼的峰值順應(yīng)性水平比研究級阻尼的峰值順應(yīng)性水平高出4倍。

實驗室級781系列：為不太嚴(yán)重的地面震動環(huán)境中不敏感的應(yīng)用提供經(jīng)濟的性能水平。實驗室級適用于需要剛性、平坦安裝表面的一般實驗室應(yīng)用。

CleanTop光學(xué)平臺專業(yè)系列：

CleanTop光學(xué)平臺專業(yè)系列包括用于潔凈室的ClassOne 790系列、非磁性710系列和真空兼容730系列。

ClassOne 790系列：與所有TMC CleanTop光學(xué)平臺一樣，ClassOne具有高的芯密度和小的蜂窩單元面積。每個螺紋孔下方的單個杯子都經(jīng)過氣密處理，頂部可以防溢。ClassOne光學(xué)減震平臺有各種標(biāo)準(zhǔn)和定制尺寸以及兩種阻尼水平可供選擇。

非磁性710系列：TMC光學(xué)減震平臺的CleanTop光學(xué)頂部采用非磁性結(jié)構(gòu)，推薦用于需要支撐高強度磁鐵或保持均勻磁場的應(yīng)用。雖然不銹鋼合金不能非磁性，但316合金頂層、底層和內(nèi)部蜂窩結(jié)構(gòu)可顯著降低鐵磁性能。同時，側(cè)壁和杯子*不含鐵。

真空兼容730系列：TMC光學(xué)隔震臺將我們固有的CleanTop®設(shè)計與幾個新專有設(shè)計特征、清潔方法以及為德克薩斯大學(xué)拍瓦激光項目開發(fā)的真空泵送程序相結(jié)合，達到了以前無法達到的真空兼容水平。

用剛性聯(lián)軸器連接光學(xué)隔震臺：

TMC光學(xué)隔震臺通過將一個經(jīng)過精密磨削和對齊的專有接合板系統(tǒng)焊接到頂部的結(jié)構(gòu)元件上，TMC可以在隔震光學(xué)平臺之間提供剛性聯(lián)接。TMC光學(xué)平臺的工藝包括對齊技術(shù)，可確保頂部保持高平整度規(guī)格，而不會因接合板焊接到頂部的熱效應(yīng)而發(fā)生變形。

拼接后，TMC光學(xué)隔震臺就像一個整體結(jié)構(gòu)。與所有大型結(jié)構(gòu)一樣，較大拼接系統(tǒng)的行為將與單個頂部的行為不同。拼接隔震光學(xué)平臺技術(shù)確保了多個頂部之間的平整度。接合板是一組經(jīng)過精密磨削的、厚20毫米（0.75英寸）的配套鋼材，帶有一套定位銷，用于保持對齊。板沿著接合板的整個長度焊接在頂部和底部蒙皮上。在組裝完成后，用不銹鋼帶覆蓋接合板。接合板的標(biāo)準(zhǔn)材料是鋼。

許多形狀都可提供。TMC光學(xué)隔震臺通常以“端到端"配置或以“T"或“L"形狀拼接。拼接式平臺也可以配置為“邊對邊"或形狀的組合。同一厚度的隔震光學(xué)平臺可以相互拼接，甚至兩種不同厚度的工作臺也可以拼接為階梯式配置。例如，如果一個大型頂部無法裝入電梯，則可以拼接工作臺以協(xié)助安裝。

CleanTop光學(xué)隔震面包板：

CleanTop®鋼光學(xué)面包板可為較小的頂部提供的剛性和阻尼。這些頂部有2英寸和4英寸厚度，與我們的大型光學(xué)平臺具有相同的高性能CleanTop結(jié)構(gòu)。

TMC隔震臺的CleanTop®鋼光學(xué)面包板有三種性能級別以及一系列定制選項可供選擇。

78系列：為較小的頂部提供大的剛性和阻尼。推薦用于要求高的面包板應(yīng)用。

77系列：與78系列相比，頂部蒙皮略薄，剛性和阻尼略低，但成本和重量較低。

75輕量級系列：大限度地減輕了重量和成本。這些面包板具有相對較高的剛性，因為它們使用了我們的標(biāo)準(zhǔn)鋼芯，然而，由于它們的頂部和底部蒙皮較薄，它們不具有78和77系列的剛性和阻尼特性。當(dāng)預(yù)計載荷較輕和當(dāng)?shù)椭亓亢?或低成本是主要考慮因素時，它們是理想的選擇。重量比78系列面包板減輕50％。

Hybrid Honeycomb隔震面包板：

TMC隔震平臺中許多超精密工具包括光學(xué)子組件。這種子組件必須安裝在剛性、平坦的阻尼表面上，以保持光學(xué)系統(tǒng)的位置穩(wěn)定性。直到現(xiàn)在，工程師都不得不在機加工鋁板和蜂窩光學(xué)面包板之間做出選擇。鋁板的優(yōu)點是可加工到精確的平整度、平行度以及孔位置的偏差較小。蜂窩面包板的優(yōu)點是可提供結(jié)構(gòu)阻尼以及更高的剛度重量比。TMC光學(xué)隔震臺的創(chuàng)新地結(jié)合了兩者的優(yōu)點。Hybrid Honeycomb™以鋁板開始。對板進行機加工以獲得所需的特征。然后將底面加工掉，留下一個整體蜂窩圖案，以減輕結(jié)構(gòu)的重量。然后，在蜂窩單元上用環(huán)氧樹脂粘合底部蒙皮，以封閉結(jié)構(gòu)并提供額外的阻尼和剛度。Hybrid Honeycomb是光子學(xué)工具和應(yīng)用中光學(xué)組件的理想選擇，它是一種工程解決方案，可根據(jù)您的*需求進行配置。

光學(xué)平臺支撐系統(tǒng)：

TMC為我們的CleanTop隔震光學(xué)平臺和面包板提供各種各樣的支腿系統(tǒng)。

通常，TMC隔震臺和面包板放置在通過拉桿連接在一起的氣動或剛性支架上。這是TMC的Micro-g系列的支撐系統(tǒng)。對于極其敏感的應(yīng)用，特別是低于5 Hz的地板震動，我們推薦使用主動壓電和混合解決方案 - STACIS III和LaserTable-Base。

Micro-g系列：Micro-g光學(xué)平臺支撐系統(tǒng)是TMC隔震光學(xué)平臺和面包板的理想選擇。它有包括高度、承重能力和隔震性能在內(nèi)的多種配置選項。大多數(shù)頂部應(yīng)該選擇由帶有拉桿的四柱系統(tǒng)支撐，但對于那些長度超過10英尺（3米）的頂部，我們建議使用6柱系統(tǒng)。除了更高的承重能力之外，頂部的結(jié)構(gòu)特性還通過額外的支撐點得到了增強。如果支柱之間需要開放式通道，則可以選擇Micro-g獨立式支柱來代替帶有拉桿的支柱。雖然一般配置為4和6條支腿，但其他配置可包括3和5條支腿。獨立支柱為相對于光學(xué)頂部的支柱定位提供了很好的靈活性。

LaserTable-Base：LaserTable-Base™是現(xiàn)有TMC隔震平臺隔震技術(shù)的一大飛躍。通常，TMC隔震平臺由低頻氣動隔震系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動系統(tǒng)實際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的震動。TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動器和慣性震動傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制，可消除而不會放大極低頻震動。LaserTable-Base將這兩項技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個集成的消震系統(tǒng)中。由于兩個串聯(lián)隔震系統(tǒng)的綜合效應(yīng)，這實現(xiàn)了低頻率消震的高頻隔震水平。LaserTable-Base的上部氣動部分采用模塊化設(shè)計，可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔震器或剛性、非隔震支架，具體取決于應(yīng)用要求。