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艾里卡特質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號MC,21

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更新時間：2019-05-30 15:05:09瀏覽次數(shù)：940次

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產(chǎn)品簡介

艾里卡特質(zhì)量流量控制器采用層流差壓原理，可本地顯示溫度，絕壓，質(zhì)量流量和體積流量，耐壓1MPa，低壓差條件下亦可使用。內(nèi)置130種氣體，大大節(jié)約用戶成本。反應時間快。

詳細介紹

一、艾里卡特質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點

操作便捷

• 50-100毫秒控制響應

• 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性

• 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

• 同一臺設備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力

• 瞬間啟動、無需預熱：1秒內(nèi)即可開始流量控制

二、艾里卡特質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標準系列

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為*的無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

zui大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航*航*、環(huán)境氣體分析等應用的良好選擇；zui大量程：0-500 slpm。

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。

MCE / MCV 半導體行業(yè)系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥，專門用于真空應用?？啥ㄖ葡鄳姆栏g系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm.

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

*雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量?？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。

三、常用選配項

• 后置閥門，優(yōu)化真空及背壓應用的控制

• 批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

• CSA認證1類2區(qū) / ATEX認證1類2區(qū)允許設備用于危險環(huán)境

• 9針或15針D-Sub等連接接口可選

• 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

• 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

四、性能參數(shù)

指標	質(zhì)量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復性	±0.2%
量程比	200:1
響應時間	100ms
標準狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-*
測量流量范圍	128％（過流率）
zui大耐壓	145psi
輸出信號（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）