微小流量質(zhì)量流量控制器，ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器Z小可控制0.5SCCM以下的流量，ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器采用層流差壓原理，可本地顯示溫度，絕壓，質(zhì)量流量和體積流量，耐壓1MPa，低壓差條件下亦可使用。內(nèi)置130種氣體，大大節(jié)約用戶成本。反應(yīng)時間快。

詳細(xì)介紹

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一、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點

1、50毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值?？焖?、可重復(fù)、穩(wěn)定！

擁有可靠的穩(wěn)定性及響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器總是一擊擊中，為zui快的質(zhì)量流量控制器！采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術(shù)與高速比例控制閥相結(jié)合，使得到達(dá)設(shè)定值的速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快過您眨一下眼。

2、操作便捷

? 50-100毫秒控制響應(yīng)

? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得zui*的速度和穩(wěn)定性

? 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

? 同一臺設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力

? 瞬間啟動、無需預(yù)熱：1秒內(nèi)即可開始流量控制

二、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

控制響應(yīng)zui快、zui穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

zui大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，zui大量程：0-500 slpm。

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。點擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設(shè)計更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥，專門用于真空應(yīng)用。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm.

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

*雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量?？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。

三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器常用選配項

? 后置閥門，優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制

? 批量控制模式，依靠快速的閥門響應(yīng)來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

? CSA認(rèn)證1類2區(qū) / ATEX認(rèn)證1類2區(qū)允許設(shè)備用于危險環(huán)境

? 9針或15針D-Sub等連接接口可選

? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標(biāo)	質(zhì)量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時間	100ms
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-*
測量流量范圍	128％（過流率）
zui大耐壓	145psi
輸出信號（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）