中環(huán)真空泵的薄膜式真空計(jì)是利用薄膜片受力產(chǎn)生形變的原理而制成的一種相對式真空計(jì), 也是一種全壓強(qiáng)真空計(jì)。其特點(diǎn)為精度高, 響應(yīng)快、穩(wěn)定可靠、使用方便, 尤其是結(jié)構(gòu)小巧堅(jiān)固, 材質(zhì)耐腐蝕, 且能*承受過載運(yùn)行, 特別適宜于在惡劣環(huán)境中工作, 在這些方面比之于壓縮式真空計(jì)具有明顯的*性, 也*避免了使用有毒有害的介質(zhì)。然而, 要采用薄膜真空計(jì)替代容積真空泵性能檢測用的壓縮式真空計(jì)必須解決以下三個(gè)技術(shù)關(guān)鍵。

① 擴(kuò)展現(xiàn)有薄膜真空計(jì)的測量下限。一般而言, 我國現(xiàn)有的薄膜真空計(jì)的下限為0.1Pa,為此,必須研制測量下限為0.02Pa以下的低量程薄膜真空計(jì)

。
② 消除水、油等可凝性蒸汽的影響, 使薄膜真空計(jì)測得的應(yīng)與壓縮式真空測量的同樣是*性氣體的分壓強(qiáng)。
 ③ 薄膜真空計(jì)是一種相對真空計(jì), 由顯示儀表輸出的是電參量, 為此必須解決真空計(jì)的量值校準(zhǔn)問題。

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