有效的污染監(jiān)測
水分和空氣分子污染物 (AMC)，例如，氟化氫 (HF)，于等待時間內(nèi)，在 FOUP 槽對槽的空間里被釋放出來。而這些元素會在圖樣晶圓上生成晶體生長，從而導致產(chǎn)量的損失和性能的退化。普發(fā)真空的 APA 302 通過 FOUP 過濾器來對 AMC 進行采樣。在 ppb 的范圍內(nèi)，通過離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測、熒光紫外線或光腔衰蕩光譜技術，測量在 2 分鐘內(nèi)發(fā)生，具有高靈敏度。而當負載端口上沒有 FOUP 時，APA 302 會監(jiān)控周圍的潔凈室環(huán)境。
FOUP 環(huán)境的可靠分析
為了保證性能，SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配備了自動校準功能，它會在定期的時間間隔內(nèi)被激活。對于在 APA 中對 AMC 的監(jiān)控，可在有晶圓或無晶圓的 POD 中執(zhí)行。FOUP 可以手動傳送，也可通過 2 個負載端口上的懸掛式起重運輸 (OHT) 來傳送。因此，可優(yōu)化各工藝步驟間的等待時間，污染的增加量能立刻被察覺到，且產(chǎn)量增加。
