FT-332普通方塊電阻測試儀
參照標(biāo)準(zhǔn)：
1.硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
雙電組合測試方法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
| 規(guī)格型 | FT-332 |
| 1.方塊電阻范圍 | 10-4～2×105Ω/□ |
| 2.電阻率范圍 | 10-5～2×106Ω-cm
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| 測試電流范圍
| 10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
| 4.電流精度 | ±0.2%
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| 5.電阻精度 | ≤0.3% |
| 6.顯示讀數(shù) | 液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
| 7.測試方式 | 普通單電測量 |
| 8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W |
| 9.誤差 | ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） |
| 10.選購功能 | 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻 |
| 11.測試探頭 | 探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針 |
