量程-0.5SCCM～0.5SCCM到-3000SLPM～3000SLPM,200:1量程比，內(nèi)置98種氣體，100ms響應(yīng)，優(yōu)于1%精度
美國ALICAT 雙向型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥，正向或反向精確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設(shè)計(jì)模式，一臺(tái)閥門專門用于控制進(jìn)氣、另一臺(tái)用于排氣，實(shí)現(xiàn)了僅用一臺(tái)設(shè)備便可同時(shí)控制開放式或密閉容器內(nèi)上游、下游端流量，以及正壓、背壓。
● 數(shù)字化產(chǎn)品，雙向流量控制
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
技術(shù)參數(shù)
介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考“產(chǎn)品資料下載”氣體兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
顯示流量：-99%FS～99%FS
顯示屏：帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性：± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm
響應(yīng)時(shí)間：100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時(shí)間：< 1s
標(biāo)定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ºC
工作濕度：0-99%,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)工作壓力：1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓
中壓選項(xiàng)：2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì)：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁
黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對(duì)位置無要求 防護(hù)等級(jí)：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號(hào)，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們
