30A氣體質(zhì)量流量控制器采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制，由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
本型號產(chǎn)品滿量程可以再5sccm-30SLM的范圍內(nèi)任意定制。
特點(diǎn)
穩(wěn)定性和可靠性高 ±0.2%F.S的高重復(fù)精度 可應(yīng)用大多數(shù)腐蝕性氣體
同類產(chǎn)品尺寸最小 安裝尺寸國際兼容 不受溫度及壓力變化影響
滿量程可在5sccm-30SLM范圍任意定制
標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)定氣體：氮?dú)猓∟2）
標(biāo)定溫度：溫度273.15K（0 ºC） 標(biāo)定壓力：101325pa(760mm Hg)
輸入輸出信號
0~5.00V（輸入阻抗大于100KΩ）輸出電流不大于3mA
流量規(guī)格
0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm
0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM
注：滿量程流量不限于此處列出的規(guī)格，可再滿量程5sccm-30SLM范圍內(nèi)任意選擇,列如:123sccm
質(zhì)保與服務(wù)
我公司承諾對產(chǎn)品的質(zhì)保期為壹年，再您收到產(chǎn)品壹年內(nèi)，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項(xiàng)，并且產(chǎn)品沒有損壞，改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換產(chǎn)品部件。
再質(zhì)保期外，我們提供終生維修和維護(hù)服務(wù)，但適當(dāng)收取維修和維護(hù)的成本費(fèi)，維修和維護(hù)后，維修部分的部件同樣質(zhì)保壹年。
我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問題，并提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。
規(guī)格參數(shù)
| 功能 | 質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器 |
| 流量規(guī)格（N2）標(biāo)定 | 0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm |
| 流量規(guī)格（N2）標(biāo)定 | 0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM |
| 精度 | ±1%F.S |
| 調(diào)節(jié)閥類型 | 常閉式 |
| 線性 | ±1%F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 響應(yīng)時間 | ≤2ses |
| 輸入輸出信號 | 0~5.00V（輸入阻抗大于100KΩ）輸出電流不大于3mA |
| 電纜接頭 | DB15pin(針型) |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ |
| 工作壓差范圍 | 0.1-0.5Mpa |
| 對外單點(diǎn)泄漏率 | ≤1X10-8pa.m3/s(He) |
| 耐壓 | 3Mpa |
| 介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316,316L,密封填料 |
| 介質(zhì)接觸材質(zhì) | 氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封 |
| 密封材料 | 丁晴橡膠NBR,三元乙丙橡膠EPDM,氯丁橡膠CR,硅橡膠VMQ,氟橡膠FKM |
| 管道接頭尺寸 | VCR型接頭 1/4 |
| 管道接頭尺寸(公制) | Φ3 Φ6 Φ8 Φ10 Φ12 |
| 管道接頭尺寸(英制) | 1/8 ,1/4 ,1/2 |
| 供電電源要求 | +15VDC(50mA) -15VDC(200mA) |
| 工作環(huán)境濕度 | ＜80RH |
| 重量 | 0.9KG |
| 尺寸 | 127X28X100mm |
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