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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

成都廠家 surpass電磁耦合磁控濺射 可定制 鍍膜機(jī)

參考價(jià) 1000000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱成都漢普升科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2023/11/17 14:40:23
  • 訪問(wèn)次數(shù)237
產(chǎn)品標(biāo)簽:

電磁耦合磁控濺射

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成都漢普升科技有限公司,成立于2015年11月16日,致力于電真空、核級(jí)裝備、人工晶體材料及薄膜制備設(shè)備的技術(shù)提升,在服務(wù)領(lǐng)域深耕細(xì)作,具有較深的技術(shù)沉積。
公司成立以來(lái),在自己所擅長(zhǎng)領(lǐng)域?yàn)榭蛻籼峁﹥?yōu)良的產(chǎn)品和技術(shù)解決方案,公司注重產(chǎn)品和運(yùn)營(yíng)模式創(chuàng)新,我們堅(jiān)信:唯有創(chuàng)新方能給用戶增值,公司已與多家科研院所、高等院校及企事業(yè)單位進(jìn)行橫向合作,形成了科研級(jí)、工業(yè)級(jí)產(chǎn)品體系,已為客戶設(shè)計(jì)制造了多套專用設(shè)備和儀器,獲得了用戶廣泛贊譽(yù)。




光學(xué)器件,光電設(shè)備,電子設(shè)備
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn)
成都真空設(shè)備廠家 surpass電磁耦合磁控濺射 固體潤(rùn)滑 防腐 超硬表面改性 可定制
成都廠家 surpass電磁耦合磁控濺射 可定制 鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

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●該設(shè)備為公司根據(jù)客戶工藝需求定制,與某研究所國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制,先后獲得獎(jiǎng)勵(lì)3項(xiàng),聯(lián)合申報(bào)國(guó)家2項(xiàng),用于固體潤(rùn)滑、防腐和超硬表面改性等領(lǐng)域,服務(wù)于科研和國(guó)家重大項(xiàng)目需求,具有多功能、高穩(wěn)定的特點(diǎn),歡迎各位聯(lián)合研制。


●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測(cè)量系統(tǒng)組成,同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),可根據(jù)客戶使用需求定制。

●真空腔體:φ900X1050,雙層水冷;(可根據(jù)實(shí)際需求定制)

●真空系統(tǒng):分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng);

●真空抽速:4000-7000L/S,進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì),全金屬防爆真空規(guī);

●極限真空:6.7X10-5Pa;(根據(jù)客戶選擇主泵確定);

●磁控靶組件:4個(gè)矩形靶,4個(gè)圓柱靶,根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源;

●離子源:2套線性離子源,匹配專用電源;

●氣路:4路反應(yīng)氣體,進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì),1路毛細(xì)保護(hù)氣路;

●烘烤溫度:400℃,不銹鋼鎧裝加熱器,可拆卸快裝結(jié)構(gòu);

●工件盤:導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套(標(biāo)準(zhǔn)配置為12工位和24工位,可擴(kuò)展數(shù)百件工件共同沉積),工件盤裝夾移動(dòng)小車一輛;

●控制系統(tǒng):西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。


●特別說(shuō)明:該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制,獲得國(guó)家科技進(jìn)步、國(guó)家科技發(fā)明獎(jiǎng)、機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和中科院重大設(shè)備專項(xiàng)等獎(jiǎng)勵(lì),公司提供一攬子技術(shù)解決方案,同時(shí)與合作伙伴共享知識(shí)產(chǎn)權(quán)。


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