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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

SAMCO二手ICP刻蝕機(jī)RIE-800iPC

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)青島佳鼎分析儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/11 18:26:01
  • 訪問(wèn)次數(shù)365
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青島佳鼎實(shí)驗(yàn)室,坐落于城之向陽(yáng)地——城陽(yáng)。自2011年成立之初,便誓將科技之光照耀四方。
十年的時(shí)間里,公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷,最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì),也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),使我們?cè)谖磥?lái)的發(fā)展中,有底氣的大踏步前進(jìn)。目前,佳鼎實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)形成了一站式服務(wù),不僅有實(shí)驗(yàn)室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷(xiāo)售,更有實(shí)驗(yàn)室的整體交付。做到了初時(shí)毛坯,再見(jiàn)時(shí)嚴(yán)謹(jǐn)整潔,隨時(shí)可以為人類(lèi)健康貢獻(xiàn)自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè),從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品,從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國(guó)內(nèi),放眼,我們聯(lián)合了包括美國(guó)賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國(guó)實(shí)驗(yàn)室,并且積累了大量的科研資料,在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)信以質(zhì)量為生命,以客戶為中心的經(jīng)營(yíng)理念,為打造實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

SAMACOICP蝕刻設(shè)備RIE-800iPC,具有優(yōu)良工藝再現(xiàn)性的生產(chǎn)設(shè)備它是一種使用感應(yīng)耦合等離子體作為放電類(lèi)型的高密度等離子體蝕刻設(shè)備
SAMCO二手ICP刻蝕機(jī)RIE-800iPC 產(chǎn)品信息

SAMACO ICP蝕刻設(shè)備RIE-800iPC,具有優(yōu)良工藝再現(xiàn)性的生產(chǎn)設(shè)備它是一種使用感應(yīng)耦合等離子體作為放電類(lèi)型的高密度等離子體蝕刻設(shè)備。該裝置是配備真空盒式室的正式生產(chǎn)裝置,具有優(yōu)異的工藝再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。

主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

新的ICP源 "HSTC™: Hyper Symmetrical Tornado Coil"。

可高效穩(wěn)定地應(yīng)用高射頻功率(2千瓦以上),并實(shí)現(xiàn)良好的均勻性。

大流量排氣系統(tǒng)

排氣系統(tǒng)直接連接到反應(yīng)室,可以實(shí)現(xiàn)從小流量和低壓范圍到大流量和高壓范圍的廣泛工藝窗口。

下電極升降機(jī)構(gòu)

晶片和等離子體之間的距離經(jīng)過(guò)優(yōu)化,以確保良好的平面內(nèi)均勻性。

易于維護(hù)的設(shè)計(jì)

TMP(渦輪分子泵)集成在設(shè)備中,便于更換。

應(yīng)用

GaN、GaAs、InP等化合物半導(dǎo)體的高精度加工。

SiC、SiO?的高速加工。

蝕刻鐵電材料(PZT、BST、SBT、SBT)、電極材料(Pt、Au、Ru、Al)和其他難以蝕刻的材料。

復(fù)合式半導(dǎo)體晶片的等離子切割和薄型化。

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