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廣電計量檢測集團股份有限公司

SAMCO二手翻新ICP刻蝕機RIE-400iPC

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/6/10 18:32:09
  • 訪問次數(shù)216
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青島佳鼎實驗室,坐落于城之向陽地——城陽。自2011年成立之初,便誓將科技之光照耀四方。
十年的時間里,公司因擴展數(shù)度搬遷,最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團隊,也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅實的基礎(chǔ),使我們在未來的發(fā)展中,有底氣的大踏步前進。目前,佳鼎實驗室已經(jīng)形成了一站式服務(wù),不僅有實驗室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售,更有實驗室的整體交付。做到了初時毛坯,再見時嚴謹整潔,隨時可以為人類健康貢獻自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè),從科研機構(gòu)到環(huán)境、食品,從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國內(nèi),放眼,我們聯(lián)合了包括美國賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國實驗室,并且積累了大量的科研資料,在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實驗室堅信以質(zhì)量為生命,以客戶為中心的經(jīng)營理念,為打造實驗室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

SAMCO二手翻新ICP刻蝕機RIE-400iPC,是高密度等離子體蝕刻系統(tǒng),采用電感耦合等離子體作為放電形式
SAMCO二手翻新ICP刻蝕機RIE-400iPC 產(chǎn)品信息

SAMCO二手翻新ICP刻蝕機RIE-400iPC,是高密度等離子體蝕刻系統(tǒng),采用電感耦合等離子體作為放電形式。該系統(tǒng)配備了真空盒室,是一個具有優(yōu)良工藝重復(fù)性和穩(wěn)定性的全規(guī)模生產(chǎn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)是直徑4英寸等小直徑晶圓的專用系統(tǒng),可以在最小的潔凈室空間內(nèi)安裝。

主要特點和優(yōu)點

新的ICP源 "HSTC™: Hyper Symmetrical Tornado Coil"

可高效穩(wěn)定地應(yīng)用高射頻功率(2千瓦以上),并實現(xiàn)良好的均勻性。

大流量排氣系統(tǒng)

排氣系統(tǒng)直接連接到反應(yīng)室,可以實現(xiàn)從小流量和低壓范圍到大流量和高壓范圍的廣泛工藝窗口。

端點監(jiān)測

干涉法和發(fā)射光譜終點監(jiān)測儀可用于目標薄膜厚度的終點檢測。

易于維護的設(shè)計

TMP(渦輪分子泵)已集成在一個單元中,便于更換。

應(yīng)用

GaN、GaAs、InP等化合物半導(dǎo)體的高精度加工

SiC、SiO?的高速加工

蝕刻鐵電材料(PZT、BST、SBT、SBT)、電極材料(Pt、Au、Ru、Al)和其他難以蝕刻的材料

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關(guān)鍵詞:刻蝕機
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