1.概述 |
1-1風機過濾器單元
風機過濾器單元（FFU）是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。
風機從FFU頂部將空氣吸入并經HEPA過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。廣泛用于半導體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè)。
●使用環(huán)境
?周圍溫度：5℃～40℃
?濕度：低于85%RH(沒有濕氣凝結狀態(tài)下)
?周圍空氣：一般室內空氣
?清凈度：100-10級
?請避免連續(xù)反復ON/OFF操作機體
如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風機濾網機組，將會影響制品性能，并可能會發(fā)生電氣短路現象，造成電氣部件損壞，縮短制品使用壽命。
為能安全且有效地使用風機過濾器單元請參閱第4頁的〝重要安全事項〞。
(2) 表1. 部件明稱及功能(參考圖1)
No. | 部 品 名 稱 | 功 用 | 備 注 |
1 | 初效濾網 | 可有效攔截粒徑≥5um的灰塵 |
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2 | 外殼 | 設備外殼 | 可選優(yōu)質冷軋板噴塑,鍍鋅鋁鋼板,鋁板及不銹鋼板等材料 |
3 | 把手 | 方便搬運 |
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4 | 吊環(huán) | 機體吊裝 | 選配件 |
5 | 導流消聲裝置 | 引導氣流及消除噪聲 |
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6 | 風機系統(tǒng) | 為設備提供動力 | 風機可選國產/中國臺灣/新加坡/德國 |
7 | 高效濾網 | 可過濾微小粒徑的灰塵 效率99.99%@ 0. 3um | 可選各種效率的濾網 |
8 | 控制系統(tǒng) | 調速及開關電源 |
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2.重要安全事項 |
不當使用風機過濾器單元組將會造成制品性能降低，使用時請務必遵守下列事項：
2-1 安裝使用環(huán)境
●風機過濾器單元的安裝應遠離加熱器、火爐或其它熱源。
● 設置風機過濾器單元場所不可放置易燃物，以免發(fā)生火災。
● 請勿在機體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學物品，如果機體吸入這些化學物品將有可能會導致火災或爆炸等事故發(fā)生。
● 請勿于機體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學藥品，如果使用這些化學藥品將有可能會導致機體腐蝕及損壞。
2-2 運送與安裝
● 請在風機過濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運制品，搬運時務必保持水平，如果使用輕便推車等工具運送時，請選用車臺超過機體包裝寬度的推車。
● 機體安裝后，機體上方至少須預留30公分以上的空間，以利將來機體維修，未預留足夠的維修空間，機體將無法進行維修及部件更換。
● 試運轉前，請先拆除吸入口上及均流板下附著的保護膜。
2-3 安裝?使用注意事項
●風機過濾器單元安裝于無塵室時，請務必遵守下列指示
?當進入無塵室時
請穿著防塵衣以免攜帶灰塵進入室內。
請以酒精清理工具以免攜帶灰塵進入室內。
請以酒精清理衣柜未保護處以免攜帶灰塵進入室內。
點檢時請使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產生灰塵。
● 切勿直接重壓風機過濾器單元機體，以免造成機體變形。
● 請勿以沾濕的手操作機體，以免發(fā)生觸電危險。
● 請勿遮蔽機體吸入口及吹出口，機體吸入口及吹出口被遮蔽，將導致機體性能無法正常發(fā)揮，造成機體功能異?；螂姎獠考p壞。
● 實施第三種接地工事，以避免電擊產生之危險。
3.安裝使用 |
3-1運轉前檢查事項
運轉前請先檢查下列注意事項：
● 機體外部電源是否連接，電源供應是否妥當。
● 機體接地工事是否已實施。
● 機體上方空氣吸入口及下方濾網的保護膜是否已取下。
3-2運轉時注意事項
(1) 開始運轉
● 當電源開啟后，機體即開始運轉。
● 機體運轉后請確認是否有異?，F象。
當有下列情形發(fā)生，機體無法正常運轉時，請向經銷服務人員反映。
● 機體內部有異物，機體離心風扇無法正常旋轉。
● 機體內部電線脫落，接頭松脫。
● 機體內部電氣部件，如過電源插頭、馬達損壞。
(2) 停止運轉
● 運轉后如發(fā)現異常現象，請即切斷電源，停止機體運轉。
NO. | 點檢專案 | 判斷標準 |
1 | 離心風扇及馬達 | ?離心風扇必須旋轉平順，沒有產生異常聲音，若聽到異常聲音，請確認送風機內有無異物以及馬達軸承的聲音是否異常，若馬達有問題，請更換馬達。 |
2 | 濾網 | ?濾網表面有無損傷、污點、骯臟….等 |
3 | 機體外觀 | ?機體外觀有無損傷 |
4-2定期維護
使用風機過濾器單元一段時間后，因使用環(huán)境及使用狀況之差異，為了防止意外及確保風機過濾器單元的正常運轉，請務必實施下列定期點檢。
4-2.1定期維護
(1)定期維護項目
請依表3.所示，對風機過濾器單元實施定期點檢，當部件壽命已至時，請立即進行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。
(2)當由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學藥品的泄漏(腐蝕氣體…..等)意外發(fā)生，停機再啟動后，請務必實施相同的檢查。
表3. 定期維護項目
部件位置 | 征兆及可能原因 | 評價標準，確認點 | 檢查頻率 | 部件壽命 |
馬達 | (1)軸承損壞而使馬達運轉不平順或死鎖。 (2)絕緣不良造成過熱、過載導致線圈燒損。 (3)電源連接或端子的絕緣不良，而造成異常發(fā)熱、接地錯誤、層間短路…..等。 | ?確認馬達有無異音、振動及味道，用耳朵確認軸承有無異常聲音。 ?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。 ?檢查電纜線及端子有無破損或銹蝕，更換不良部件。 | 一年一次 | 5年以上 |
離心風扇 | (1)因灰塵迭積或破損使得運轉不平衡而損壞。 | ?檢查離心風扇有無異音、振動及破損，更換不良部件。 | 一年一次 | 5年 |
其它的電氣部件及配線材料 | (1)絕緣不良，端子螺絲松脫而造成過熱、短路或燒損。 (2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。 | ?檢查有無過熱、銹蝕、暴露的導體，配線表皮破損…..等。 ?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。 ?鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。 | 一年一次 | 5年 |
濾網 | (1)因阻塞而造成風速減低。 (2)因化學藥品而造成濾網材質、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。 (3)因外部熱源造成濾網材質不良。 | ?目視檢查濾網材質、迫緊、阻隙有無刮傷、褪色、變形。 ?檢查泄漏更換不良部件。 | 一年一次 | (視不同使用場所需要而定) |
外箱 及其它組件 | 因化學藥品而使部件腐蝕或生銹產生灰塵。
| ?目視檢查部件有無不良、褪色….等。 | 一年一次 | 其它部件8年 |
表4消耗性部件的更換期間( 我司建議)
部 品 | 更 換 期 間 |
濾網 | 1-2年(室內清凈度100,000級的場所) 注 |
初效濾網 | 每3個月(不同場所而有所區(qū)別) |
馬達 | 5年以上 |
注：濾網更換期間會因不同使用場所的差異而有所不同。
4.2.2點檢完成
點檢完成后，清潔工作場所及確認風機過濾器單元在正常運轉狀況；保留點檢報告，當部件更換或機體更新時作為參考。
4-3故障排除
?若有以下現象發(fā)生，連絡本公司并告知機身編號、機型、電壓及不良現象(盡可能詳細)，然后慎重的調查問題的起因及采取適合的改善措施。
附錄 |
易損件規(guī)格表：
序號 | 名稱 | 規(guī)格型號 | 單位 | 單臺數 | 備注 |
1 | 風機 | PCI風機 | 臺 | 1 | 保修期:一年 |
2 | 電容 | 5uf,500V | 只 | 1 |
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3 | 玻纖無隔板過濾器 |
| 個 | 1 | 99.99%@o.3um |
4 | 初效過濾器 |
| 個 | 1 | 可清洗 |
● 當需要更換服務備品時，請務必依本說明書中表1.所列之部件名稱提供予服務人員。
● 任何未經認可之代用品，不僅可能會影響風機過濾器單元的性能，同時可能造成火災、觸電或其它危險。
