勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
適用旋涂材料的尺寸范圍
型號 | 最小尺寸 | 尺寸 |
WS-650-23 | 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm | 6英寸(150mm)直徑圓片 或5x5英寸(125mm)邊長方片 |
WS-650-8 | 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm | 8英寸(200mm)直徑圓片 或7x7英寸(175mm)邊長方片 |
WS-650-15 | 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm | 12英寸(300mm)直徑圓片 或9x9英寸(225mm)邊長方片 |
WS-650-X | 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm | 可根據(jù)用戶特殊要求訂制設備 |