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高精度晶圓熱板，恒溫加熱臺

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
品牌其他品牌
型號
所在地上海
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2022/4/8 10:21:46
訪問次數(shù)1688

產(chǎn)品標(biāo)簽:

熱板加熱臺晶圓熱板烤膠臺

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海雋思實驗儀器有限公司（以下簡稱“雋思儀器”）是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗機(jī)、橡塑試驗檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級潔凈烘箱，氮氣烘箱，高溫?zé)o氧烘箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗箱，高低溫試驗箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測儀，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，導(dǎo)體直流電阻測試儀，電線電纜檢測儀器，真空烘箱，黑蒜試驗機(jī)，橡塑檢測試驗機(jī)等。
不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力，做一個專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理，在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程，形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會，以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來！

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HMDS烘箱，百級潔凈烘箱，氮氣烘箱，高溫?zé)o氧烘箱，PI烤箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺，超低溫試驗箱

產(chǎn)品簡介在線詢價

操作方式	連續(xù)式	操作壓力	其他
干燥介質(zhì)	其他	加工定制	是
加熱方式	傳導(dǎo)式	類型	盤式
適用物料	多種可用

高精度晶圓熱板，恒溫加熱臺用于固化光刻膠、晶圓烘烤、光刻工藝軟烘（前烘）、硬烘（堅膜）、掩膜版烘烤、柔性電路板烘烤、固化環(huán)氧塑脂等，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。
適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化，電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

高精度晶圓熱板，恒溫加熱臺產(chǎn)品信息

高精度晶圓熱板，恒溫加熱臺技術(shù)指標(biāo)

加熱面積尺寸：160*160mm,220*220mm,230*520mm，可定制

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：≤±0.5℃

溫度均勻性：≤±0.5℃、1%℃

電源輸入：AC220V 10A

加熱功率：800~3500W

控溫范圍：室溫--200、300/400/500℃

熱板表面: 硬質(zhì)陽極氧化鋁、陶瓷等制成

可選配功能：

支撐pin材料

邊緣支撐pin

N2吹掃，無氧化烘烤

烘焙距離可調(diào)模組

真空腔體

智能型控制系統(tǒng)

高精度晶圓熱板，恒溫加熱臺技術(shù)指標(biāo)用途

用于固化光刻膠、晶圓烘烤、光刻工藝軟烘（前烘）、硬烘（堅膜）、掩膜版烘烤、柔性電路板烘烤、固化環(huán)氧塑脂等，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化，電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

智能型HMDS真空系統(tǒng)的作用

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用

智能型HMDS真空系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

? 材質(zhì)：外箱采用304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

? 溫度范圍：RT+10-250℃

? 溫度分辨率：0.1℃

? 溫度波動度：≤±0.5

? 真空度：≤133pa（1torr）

? 潔凈度：class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

? 電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ /2.5KW

? 控制儀表：人機(jī)界面

? 擱板層數(shù)：2層

? HMDS控制：可控制HMDS藥液的添加量

? 真空泵：旋片式油泵或無油泵