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廣電計量檢測集團股份有限公司

精密烤膠機,高精度烘膠臺

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2022/7/22 10:49:19
  • 訪問次數(shù)1847
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術(shù)進步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個專業(yè)的儀器設(shè)備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
精密烤膠機,高精度烘膠臺是我司針對研究的需要設(shè)計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.
精密烤膠機,高精度烘膠臺 產(chǎn)品信息

精密烤膠機,高精度烘膠臺研制背景:

    光刻工藝及其相關(guān)技術(shù)是微電子機械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要組成部分.均膠和烘干是光刻工藝中*的一道工序,為增加膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式曝光中膠層與掩模版接觸時的耐磨性能及穩(wěn)定膠層的感光靈敏度,通常采用烘箱或熱板等加熱設(shè)備對光刻膠進行干燥.由于熱板易于達到在膠的厚度方向快速均勻烘干等要求,目前越來越多地采用電熱板加熱的方式. 熱板的表面溫度均勻性,溫度控制精度,溫度上升速度等是熱板的主要性能指標.我司針對研究的需要設(shè)計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.

精密烤膠機,高精度烘膠臺應用行業(yè):

    用于晶圓的單面烘烤,可用于預烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應于半導體硅片,掩膜版(光罩),柔性電路,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。

精密烤膠機的性能:

加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸,多工位定制  

控溫范圍:室溫--200、300℃

溫度分辨率 :0.1℃     

溫度波動度:≤±0.5℃         

溫度均勻性:≤±0.5℃

電源輸入:AC220V 10A           

加熱功率:1500W

熱板表面:由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成


可定制功能:

支撐pin材料

邊緣支撐pin

N2吹掃,無氧化烘烤

烘焙距離可調(diào)模組

真空腔體

智能控制系統(tǒng)




關(guān)鍵詞:加熱設(shè)備
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