產(chǎn)品規(guī)格
•大流量至3 slpm (0.2 NM3/hr)
•材質(zhì)均為316L不銹鋼與鎳200墊片
•0.003 μm PALL不銹鋼顆粒過濾器
•外徑1.5 英寸(38.1 毫米)。
含墊片總長3.31 英寸(84.07 毫米)
•內(nèi)表面粗糙度< 10 μin Ra
•大工作壓力1000 psig (7 MPa)
•工作溫度小于70°C
NP-Filter是一款小型的純化/過濾器組合,專
為安裝在制程工具內(nèi)部設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)次微米級制造工藝所需的
高純度氣體要求。
NP-Filter的設(shè)計(jì)可保證在安裝純化器時(shí)媒介部分的
密封性及在拆除時(shí)減少內(nèi)部殘留氣體的泄漏。
NP-Filter防范了所有可能導(dǎo)致污染的來源,包括各種氣
體支路引入的雜質(zhì)。
NP-Filter可直接替換顆粒過濾器安裝,較典型的安裝位
置在制程室或質(zhì)量流量計(jì)之前。