阜陽(yáng)市制氮機(jī)生產(chǎn)廠家

分解后的氫、氮混合氣利用變溫吸附再生的原理，經(jīng)13X分子篩床吸附其中的水份及殘氨，并保持其性質(zhì)不變，從而達(dá)到干燥純化的目的，而13X分子篩經(jīng)加熱，用純化氣沖洗、解吸被分子篩吸附的水分、殘氨，從而達(dá)到再生重復(fù)使用的目的。

三、氨分解制氫的優(yōu)點(diǎn)：

用此法制得的氣體是一種良好的保護(hù)氣體，可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)，冶金工業(yè)，以及需用保護(hù)氣氛的其它工業(yè)和科學(xué)研究中。

氨分解制取保護(hù)氣體，在工業(yè)上是很容易實(shí)現(xiàn)的，這是因?yàn)椋?/span>

1、氨易分解：分解壓力不高，在催化劑作用下，溫度控制在800-850℃時(shí)氨可大部分解，其分解率可達(dá)99.9%。

2、氣體精制容易：作為原料的液態(tài)氨，純度是很高的，其中揮發(fā)性雜質(zhì)只有溶解在液氨中的少量惰性氣體和水分，幾乎不含氧，同時(shí)，在此條件下，氨分解是不可逆的。由此可見，氨分解后氣體經(jīng)13X分子篩床吸附可除去其中的水分，其露點(diǎn)達(dá)-60℃，殘氨小于5PPM即為精制的氫氮混合氣，這樣可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體工業(yè)上所不希望存在的有害的非金屬元素。如：氯和氧。

3、在我國(guó)，原料液氨容易得到，價(jià)格低廉，而且原料消耗也比較少（每公斤氨可產(chǎn)生2.5Nm3混合氣體）。

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四、氨分解工藝流程：

液態(tài)氨經(jīng)減壓后經(jīng)過汽化器汽化成氣態(tài)氨（汽化器外層水套里有80℃循環(huán)水），汽化好的高壓氣氨再經(jīng)過汽化器后級(jí)減壓，然后送往熱交換器進(jìn)入分解爐，分解爐內(nèi)裝有活化過的鎳觸煤，在800℃～850℃溫度下進(jìn)行分解，分解后高溫氣體在熱交換器內(nèi)與氣態(tài)氨進(jìn)行熱交換，此時(shí)分解氣降溫，氣氨回收熱量并升溫后進(jìn)入分解爐分解，熱交換后的分解氣進(jìn)入除氧器進(jìn)一步除掉微量氧，然后在冷卻器內(nèi)冷卻后，進(jìn)入干燥器（13X分子篩床）除去殘余水分及其它雜質(zhì)。其純度可達(dá)到如下：露點(diǎn)：-60℃，殘氨5PPM以下。而干燥器一般設(shè)置二臺(tái)，一臺(tái)將送入的分解氣吸附、干燥后送往使用點(diǎn)，另一臺(tái)取一部分干燥后的合格氣通過加熱再生（一般在250～300℃）釋放出其中的水份及殘氨，二臺(tái)交替（一臺(tái)工作一臺(tái)再生）使用從而達(dá)到重復(fù)利用的效果。

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