First-Nano System GmbH
2003年 創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(xué)（Dresden University of Technology）
2008年 香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
2015年 上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司中國代表處，負責中國區(qū)業(yè)務(wù)
2018年 深圳正式成立韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司，更好的為中國南方區(qū)市場
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產(chǎn)品范圍：
薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
低溫探針臺CPS-xxx-CF系列是一款成本低、穩(wěn)定、可靠和方便的低溫半導(dǎo)體測試甚至低溫晶圓級別測試器件的低溫探針臺系統(tǒng)。內(nèi)置振動隔離，智能熱管理和工程熱膨脹補償使低溫探針臺系統(tǒng)非常適合于寬范圍從納米電子學(xué)應(yīng)用（石墨烯的研究，分子電子學(xué)，量子計算等）以空間為基礎(chǔ)的電子測試。
規(guī)格：
試樣尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可選
無冷閉式循環(huán)制冷機（S）：包括冷頭、壓縮機、制冷機和所需的氦氣軟管。
溫度范圍：標準10K～400K，4.2K到480k可供選擇
溫度精度：0.1k或更好
熱探針臂和輻射屏蔽
卡盤和探針臂的溫度監(jiān)測
輻射屏蔽和cryohead溫度監(jiān)測是可選的。
真空壓力
窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。
相機：數(shù)碼相機從1像素到10像素。圖像和視頻采集軟件以及尺寸測量能力
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