美國(guó)Alicat MCE和MCV-真空氣體質(zhì)量流量控制器規(guī)格資料下載

【資料簡(jiǎn)介】

美國(guó)Alicat MCE和MCV-真空氣體質(zhì)量流量控制器
易于升級(jí)老化的熱流量控制器
使用先進(jìn)的Alicat MCE或MCV更新您的真空沉積設(shè)備。MCE具有與標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器相同的快速控制響應(yīng)，其外形包括焊接的1/4“VCR接頭，并且與SEMI標(biāo)準(zhǔn)MFC端對(duì)端匹配。

MCV將MCE與用于硬真空應(yīng)用的集成氣動(dòng)截止閥結(jié)合在一起。將空氣管路連接到截止閥，以防止在零設(shè)定點(diǎn)條件下受到污染。

多才多藝。 在監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力，動(dòng)態(tài)選擇另一種氣體校準(zhǔn)或使用COMPOSER™定義您自己的氣體成分。
連接的。 通過(guò)Ethernet / IP，EtherCAT，DeviceNet，Profibus，Modbus（RTU和TCP / IP）或串行通信選項(xiàng)輕松集成到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。 MCE和MCV系列流量控制器可暫時(shí)流動(dòng)液體而不會(huì)被破壞。
美國(guó)Alicat MCE和MCV-真空氣體質(zhì)量流量控制器性能

可用范圍：大0-20 slpm，小0-0.5 sccm /0-500sμlm（有關(guān)庫(kù)存范圍，請(qǐng)參閱零件號(hào)選項(xiàng)卡）
調(diào)節(jié)比：200：1（MCE / MCV）或100：1（MCES / MCVS）
標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn)，NIST可追溯：+/-（讀數(shù)的0.8％+滿量程范圍的0.2％）
可選的高精度校準(zhǔn)，NIST可追溯：+/-（讀數(shù)的0.4％+滿量程范圍的0.2％）
重復(fù)性：滿量程范圍的0.2％
典型控制響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100 ms（PID調(diào)節(jié)時(shí)低至25 ms）
氣動(dòng)閥門(mén)泄漏完整性（MCV）：1 x 10 -9 atm scc / sec大氦氣
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間
美國(guó)Alicat MCE和MCV-真空氣體質(zhì)量流量控制器運(yùn)行條件

兼容氣體：98（MCE / MCV）或130（MCES / MCVS）預(yù)加載可選氣體校準(zhǔn); 可與COMPOSER定義的其他混合物 
工作溫度：-10°C至+ 60°C
大內(nèi)壓（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐壓：175 psig（190 psia）
STP / NTP：用戶可選擇（默認(rèn)為25°C和1 atm STP / 0°C和1 atm NTP）

美國(guó)Alicat MCE和MCV-真空氣體質(zhì)量流量控制器*型號(hào)推薦：

MCE-0.5SCCM-D 
MCE-1SCCM-D 
MCE-2SCCM-D 
MCE-5SCCM-D 
MCE-10SCCM-D 
MCE-20SCCM-D 
MCE-50SCCM-D 
MCE-100SCCM-D 
MCE-200SCCM-D 
MCE-500SCCM- D 
MCE-1SLPM-D 
MCE-2SLPM-D 
MCE-5SLPM-D 
MCE-10SLPM-D 
MCE-20SLPM-D

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