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廣州市白云區(qū)富鑫空氣過濾設備廠
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閱讀：283發(fā)布時間：2013-8-26
按照慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的*。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
表1 | |||
| * | B級 | C級 |
粒徑 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 |
個數(shù) | ≤3500 | ≤10000 | ≤18000 |
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