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北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司資料大小
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626次低阻型四探針檢測儀/方阻儀/四探針電阻率檢測儀 型號:WS-KDY-1
儀器采用GB/T 1552-1995硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法
(2)范圍:電阻率10-5~10+3歐姆·厘米,分辨率為10-5歐姆·厘米
方塊電阻10-4~10+4歐姆/□,zui小分辨率為10-4歐姆/□
(3)可測量材料:半導(dǎo)體材料硅鍺棒、塊、片、導(dǎo)電薄膜等
可準(zhǔn)確測量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥20㎜
可測量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥8㎜
(4)測量方式:平面測量。
(5)電壓表:雙數(shù)字電壓表,可同時觀察電流、電壓變化
A.量程0~19.999 mV
B.基本誤差±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
C.靈敏度:1uV
D輸入阻抗﹥1000MΩ
E 4 1/2位數(shù)字顯示,0~19999
(6)恒流源:
A.電流輸出:直流電流0.003~100 mA連續(xù)可調(diào),有交流電源供給
B.量程:10uA,100uA,1 mA,10 mA,100 mA五檔
C.恒流源精度:各檔均≤±0.05%
(7)四探針測試探頭
A.探頭間距1.59㎜
B.探針機(jī)械游率:±0.3%
C.探針直徑0.8㎜
D.探針材料:碳化鎢,探針間及探針與其他部分之間的緣電阻大于109歐姆。
(8)測試架:(選配)
手動測試架:KDJ-1A 型手動測試架探頭上下由手動操作,可以用作斷面單晶棒和硅片測試,探針頭可上下移動距離:120mm,測試臺面200x200(mm)。
(9)精度
電器精度:1-1000歐姆≤0.3 %
整機(jī)測量精度:1-100歐姆·厘米≤3%
(10)電流:220V±10%,50HZ,功率消耗﹤35W
注:如果測金屬粉末電阻率必把樣品壓成塊或片才能測
雙電測四探針測試儀/四探針測試儀 型號:TC-RTS-5
TC-RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。
TC-RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù):
測量范圍 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴(kuò)展);
方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:0.005~1000 s/cm;
電阻:0.001~200Ω.cm;
可測晶片厚度 ≤3mm
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動顯示;
四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1±0.01mm;
針間緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量zui大相對誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4%
計算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強(qiáng)光直射;
數(shù)字式四探針測試儀/四探針測試儀/數(shù)字式四探針檢測儀 型號:TC-SZT-2000
TC-SZT-2000A型數(shù)字式四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置,它可以測量棒狀、塊狀
半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴(kuò)散層的薄層電阻進(jìn)行測量,可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻,是硅材料質(zhì)量監(jiān)測的必需儀器。
儀器為臺式結(jié)構(gòu),分為電氣箱、測試架兩大部分,用戶可以根據(jù)測試需要安放在一般工作臺或者工作臺上,測試架由探頭及壓力傳動機(jī)構(gòu)、樣品架組成,耐磨和使用壽命長的特點。探頭內(nèi)設(shè)有彈簧壓力裝置,壓力從0—2Kg連續(xù)可調(diào),測試架設(shè)有手動和電動兩種裝置供用戶選購。
儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定的恒流源組成,測量結(jié)果由數(shù)字直接顯示,儀器有自校量程,可以方便地對儀器的電氣性能進(jìn)行校驗。
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點,儀器于半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科學(xué)研究部門、高等院校,對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試及工藝檢測。
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1. 范圍:電阻率10-4—103Ω—cm,可擴(kuò)展至105Ω—cm,分辯率為10-6Ω—cm
方塊電阻10-3—103Ω /□
電阻10-6—105Ω
2. 可測半導(dǎo)體尺寸:直徑Φ15—150mm
3. 測量方式:軸向、斷面均可(手動測試架)
4. 數(shù)字電壓表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
(2)測量誤差 0.2mV檔±(0.3%讀數(shù)+8字)
2 mV檔以上±(0.3%讀數(shù)+2字)
(3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
20mV檔以上>108Ω
(4)顯示3 1/2位數(shù)字顯示,0—1999
具有性和過載自動顯示,小數(shù)點、單位自動顯示
5. 恒流源:(1)電流輸出:直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào),由交流電源供給
(2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
(3)電流誤差:±(0.3%讀數(shù)+2字)
6.四探針測試探頭 (1)探頭間距:1mm (2)探針機(jī)械游率:±0.3%
(3) 探針:Φ0.5mm (4)壓力:可調(diào)
7. 測試架:
(1)手動測試架:探頭上升及下降由手動操作,可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。
(2)電動測試架:探頭的上升和下降由電動操作,設(shè)有自動控制器控制,探頭上升時間1S—99S可調(diào),探頭下降時間1S—99S可調(diào),壓力恒定可調(diào)(由砝碼來設(shè)定)同時設(shè)有腳踏控制裝置由腳踏開關(guān)控制探頭上下運(yùn)動。
8.電流:220V±10% 50HZ或60HZ:功率消耗<35W
9. 外形尺寸:電氣箱130×110×400mm
公司名稱:北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司
聯(lián) 系 人:蘇
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: 2495283342
地 址:北京市通州區(qū)新華北街117號
網(wǎng) 站:www.5117sel.com
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