MKS流量計、MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥
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量控制閥
美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應商，在氣
體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術獨到之處，美*機儀器MKS
INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣
體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發(fā)生器
及真空技術，其產(chǎn)品廣泛地應用于各種半導體生產(chǎn)設備和制造過程中。
MKS流量計是以單位時間內壓力體積的流量方式來控制氣體質量流量的測
量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、廣泛應用在半導體
行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常
用的有氧氣，氫氣，氮氣，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。
美國、MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥核心型號為：
MKS BARATRON 622A01TDE 1 Pa/133.32C70145 Lot 2
MKS Baratron Pressure Switch （41A & 51A）
MKS INSTRUMENTS PORTABLE BARATRON SYSTEM
MKS Instruments Baratron Pressure Transducer 220BHS-2A1
MKS Baratron Type 224/224HA Pressure Switch/Controll?er
MKS Baratron Absolute Pressure Transducer 627B Manual
MKS PAR-10 BARATRON
MKS BARATRON 627A-13614 .25 Pa/133.32
MKS Baratron Pressure XDCR, 1350-01153, 750B11TCD2GG
MKS BARATRON 223BD-00100AAB PRESSURE TRANSDUCER TYP 223
MKS Baratron Pressure Transducer 872B12PMD2MT1 100PSIA
MKS BARATRON HEAD UNIT MODEL# 698A12TRA 100 TORR
MKS Model 722A 21TCB3FJ Baratron, 20 TORR Range
MKS Baratron Manometer 100 Torr 622A12TAE new
MKS Baratron Capacitance Manometer 100 Torr 626A12TBE UNITY
II
MKS BARATRON 627 PRESSURE TRNSDCER 10 TORR UNITY II
MKS Baratron Pressure Switch 10 Torr-G 41A-15460 NEW
MKS Baratron Single-end Vacuum Switch, 51A11TGA2BA001
MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 722A13TCD2FA
MKS BARATRON PRESSURE GAUGE TRANSDUCER 1000 PSI 840B SS
MKS Baratron Manometer Transducer 1000 Torr 626A13TBE
MKS Baratron Single-end Pressure Switch, 51A13TCA1AA999
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