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當(dāng)前位置:上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司>>HMDS烘箱>>HMDS烤箱>> HMDS蒸鍍真空烤箱,芯片HMDS蒸鍍烤箱 真空烘箱
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌雋思
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海
更新時(shí)間:2022-11-01 09:15:19瀏覽次數(shù):2688次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業(yè)烘箱
功率 | 2.5kw | 設(shè)備重量 | 600kg |
---|---|---|---|
溫度波動(dòng)度 | 0.5℃ | 溫度范圍 | 200℃ |
工作電壓 | 220v | 工作室尺寸 | 450mm |
外形尺寸 | 138mm | 真空度 | 133pa |
HMDS蒸鍍真空烤箱,芯片HMDS蒸鍍烤箱的作用
HMDS原為化學(xué)藥品HexaMethylDiSilazane的縮寫,在此則是指芯片在上光阻前的一個(gè)預(yù)先處理步驟。 HMDS蒸鍍就是利用惰性氣體(例如氮?dú)?帶著HMDS的蒸汽通過芯片表面,而在晶面上形成一層薄膜。
其目的在于:消除芯片表面的微量水份,防止空氣中的水汽再次吸附于晶面,增加光阻劑(尤其是正光阻)對(duì)于晶面的附著能力,進(jìn)而減少在而后之顯影過程中產(chǎn)生光阻掀起,或是在蝕刻時(shí)產(chǎn)了”Undercutting”的現(xiàn)象。
HMDS蒸鍍真空烤箱,芯片HMDS蒸鍍烤箱主要技術(shù)參數(shù)
工作室尺寸:450×450×450,550×650×550(mm),可自定義
材質(zhì):外箱材質(zhì)采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼
溫度范圍:RT+10-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動(dòng)度:0.5℃
真空度:≤133pa(1torr)
潔凈度:class 100,設(shè)備采用無塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
控制儀表:人機(jī)界面
HMDS控制:HMDS充液量可控制
真空泵:旋片油泵/進(jìn)口干泵(全新)
保護(hù)裝置:漏電保護(hù),超溫保護(hù),HMDS低液位報(bào)警等
特點(diǎn)
預(yù)處理性能更好,處理更加均勻,效率高,更加節(jié)省藥液,更加環(huán)保,
安全性高(低液報(bào)警裝置,自動(dòng)吸取HMDS,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè))。
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