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XYZ光纖耦合平臺(tái)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

XYZ均采用直線電機(jī)及高精度交叉滾柱導(dǎo)軌XYZ內(nèi)置高精度絕dui值光柵尺，1nm光柵分辨率，重復(fù)定位精度≤±100nm，絕dui定位精度（位置誤差補(bǔ)償后）≤±350nm；配套專用高精度控制器，實(shí)現(xiàn)靜態(tài)抖動(dòng)（jitter）值≤±25nm，讓耦合更穩(wěn)定；高速尋光，每軸速度≥350mm/s,加速度≥1g，讓找光、尋光更快，效率更高

詳細(xì)介紹

XYZ均采用直線電機(jī)及高精度交叉滾柱導(dǎo)軌 XYZ內(nèi)置高精度絕dui值光柵尺，1nm光柵分辨率，重復(fù)定位精度≤±100nm，絕dui定位精度（位置誤差補(bǔ)償后）≤±350nm； 配套專用高精度控制器，實(shí)現(xiàn)靜態(tài)抖動(dòng)（jitter）值≤±25nm，讓耦合更穩(wěn)定； 高速尋光，每軸速度≥350mm/s,加速度≥1g，讓找光、尋光更快，效率更高。


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