產(chǎn)品簡(jiǎn)介：WZH系列高溫探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，整體升降底座，高精度探針座，溫控系統(tǒng)，真空吸附系統(tǒng)等；可應(yīng)用于高溫環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息：
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

創(chuàng)譜儀器研發(fā)的高性價(jià)比手動(dòng)探針臺(tái)，廣泛應(yīng)用于集成電路、三極管、二極管及光電探測(cè)器的IV/CV參數(shù)等性能測(cè)試與表征，是光電科研中的基本設(shè)備。

WZH系列高溫探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，整體升降底座，高精度探針座，溫控系統(tǒng)，真空吸附系統(tǒng)等；可應(yīng)用于高溫環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。是一款功能強(qiáng)大的高性能探針臺(tái)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
★可測(cè)試Wafer尺寸：2英寸-4英寸（還可以升級(jí)更大尺寸）

★探針座和樣品整體位移，非常方便客戶對(duì)樣品進(jìn)行同步光電測(cè)試

★漏電流精度：100fA，可達(dá)10fA

★精密絲杠/燕尾傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)，精密位移，無回程差設(shè)計(jì)

★應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用

★1微米以上電極/PAD使用

★模塊化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊

★采用進(jìn)口溫控系統(tǒng)，優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性和控溫均勻性

產(chǎn)品應(yīng)用：
◆LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試（集成我司光電儀器）

◆材料/器件的IV/CV等特性分析測(cè)試

◆晶圓分析測(cè)試

技術(shù)參數(shù)選型：

規(guī)格/參數(shù)
型號(hào)		WZH-4
外形尺寸（LWH）		600mm×600mm×450mm
電力需求		220VC,50-60HZ
樣品臺(tái)	尺寸	4寸（圓形/方形）可以定制更大樣品臺(tái)
	行程	XY軸行程50mm；Z軸行程60mm（可以增加旋轉(zhuǎn)功能）
	移動(dòng)精度	XY軸整體1μm；Z軸10μm
	背電極測(cè)試功能	可以引出電極
	真空吸附	搭配進(jìn)口無油真空泵，7L/min
	定制模塊	可定制位移行程和精度
溫控系統(tǒng)	溫控范圍	常溫-300℃（常溫-27K）
	控溫精度	±0.1℃
	控溫穩(wěn)定性	±1℃
	控溫均勻性	±3℃
探針調(diào)整座	XYZ行程	13mm-13mm-13mm
	機(jī)械精度	1μm
	漏電精度	100fA/10fA
	安裝方式	可調(diào)磁力吸附/真空吸附
	接口形式	三同軸（Triax）
光學(xué)成像	放大倍數(shù)	7-200倍（可升級(jí)到720倍）
	CCD像素	2000W
	中心距離	140mm，升降范圍270mm，總高度350mm
	顯示器	12寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個(gè)屏幕（可升級(jí)大尺寸顯微鏡）
可選附件		鍍金卡盤	積分球測(cè)試選件	屏蔽箱
		隔振支架	導(dǎo)入光源支架	波長(zhǎng)單色可調(diào)光纖光源（測(cè)光電流）
		顯微鏡調(diào)節(jié)手動(dòng)/電動(dòng)調(diào)節(jié)裝置	激光切割顯微鏡	轉(zhuǎn)接頭配件
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái)，以達(dá)到更好的使用效果和性價(jià)比