產(chǎn)品信息：
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
LZH系列樣品拉伸探針臺(tái)是創(chuàng)譜儀器根據(jù)客戶應(yīng)用自主研發(fā)的一款對(duì)各種樣品進(jìn)行拉伸、壓縮、彎曲、蠕變后同步配合源表進(jìn)行電學(xué)實(shí)驗(yàn)的測(cè)試臺(tái)，此款探針臺(tái)包含光學(xué)底座、探針調(diào)整座、探針龍門架、多維度樣品位移系統(tǒng)、拉伸實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)、顯微鏡系統(tǒng)等組成，模塊化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)客戶應(yīng)用增減功能，多被用于材料研究。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
★可測(cè)試材料尺寸：長(zhǎng)邊40-90mm，短邊＜40mm
★拉伸行程大，平行度高，可以同時(shí)雙向拉伸
★同步測(cè)試漏電流精度：100fA，可達(dá)10fA
★精密絲杠/燕尾傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)，精密位移，無(wú)回程差設(shè)計(jì)
★應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用
★1微米以上電極/PAD使用
★顯微鏡可以連接電腦進(jìn)行拍照錄像，可以通過(guò)應(yīng)力應(yīng)變對(duì)樣品變化過(guò)程進(jìn)行細(xì)節(jié)分析
★模塊化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊
產(chǎn)品應(yīng)用：
對(duì)各種材料的拉伸、壓縮、彎曲、蠕變情況下的IV等電學(xué)分析測(cè)試
技術(shù)參數(shù)選型：
規(guī)格/參數(shù) |
型號(hào) | LZH-4 |
外形尺寸（LWH） | 450mm×600mm×450mm |
電力需求 | 220VC,50-60HZ |
拉伸樣品臺(tái)
| 尺寸 | 230mm×230mm |
行程 | 底部三維XYZ行程50mm-50mm-60mm；拉伸雙軸行程各50mm |
移動(dòng)精度 | 整體10μm |
樣品尺寸 | 長(zhǎng)邊40-90mm，短邊＜40mm |
定制模塊 | 可以根據(jù)客戶樣品定制不同拉伸臺(tái) |
探針調(diào)整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm |
機(jī)械精度 | 1μm |
漏電精度 | 100fA/10fA |
安裝方式 | 可調(diào)磁力吸附/真空吸附 |
接口形式 | 三同軸（Triax） |
光學(xué)成像 | 放大倍數(shù) | 7-200倍（可升級(jí)到720倍） |
CCD像素 | 2000W |
中心距離 | 140mm，升降范圍270mm，總高度350mm |
顯示器 | 12寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個(gè)屏幕（可升級(jí)大尺寸顯微鏡） |
附加功能 | 可以連接電腦拍照錄像 |
選型附件 | 隔振支架 | 導(dǎo)入光源支架 | 波長(zhǎng)單色可調(diào)光纖光源（測(cè)光電流） |
顯微鏡調(diào)節(jié)手動(dòng)/電動(dòng)調(diào)節(jié)裝置 |
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創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái)，以達(dá)到更好的使用效果和性價(jià)比 |
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