微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結(jié)構(gòu)，它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測試、電子通訊、化學(xué)測試等多個領(lǐng)域。一般來說，不同的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)τ诓嬷鸽姌O的形狀、幾何學(xué)尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求，因此對于不同的領(lǐng)域我們應(yīng)該區(qū)分對待。硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T是一款專門用于叉指電極的經(jīng)濟(jì)型探針臺。

詳細(xì)介紹

硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T

電化學(xué)傳感器通過與被測目標(biāo)分析物發(fā)生反應(yīng)，并產(chǎn)生與目標(biāo)分析物濃度成比例的電信號來工作。典型的電化學(xué)傳感器由傳感電極和反電極組成，并有一個薄電解層隔開。在環(huán)境監(jiān)測中，可以在電化學(xué)傳感器的電極之間生長可與目標(biāo)分析物發(fā)生反應(yīng)并發(fā)生阻值變化的捕獲物，通過檢測捕獲物的電阻值變化，實(shí)現(xiàn)檢測環(huán)境中大部分有毒有害生物化學(xué)物質(zhì)的目的。電化學(xué)傳感器通常具有操作簡單、儀器成本低等特點(diǎn)。除此之外，電化學(xué)傳感器可以與各種的微機(jī)電系統(tǒng)制造技術(shù)聯(lián)用，從而實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的批量生產(chǎn)，并且可以實(shí)現(xiàn)小型化從而降低成本。
折疊編輯本段結(jié)構(gòu)
叉指電極結(jié)構(gòu)
微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結(jié)構(gòu)，它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測試、電子通訊、化學(xué)測試等多個領(lǐng)域。一般來說，不同的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)τ诓嬷鸽姌O的形狀、幾何學(xué)尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求，因此對于不同的領(lǐng)域我們應(yīng)該區(qū)分對待。如圖所示，列出了幾種常見的叉指電極結(jié)構(gòu)，基本的結(jié)構(gòu)有圓形、矩形等，而每條叉指的形狀除簡單的矩形外，也可有圓形或矩形突起。在這里，我們要根據(jù)環(huán)境監(jiān)測的具體要求，針對叉指電極的結(jié)構(gòu)形狀進(jìn)行分析說明和終的結(jié)構(gòu)選擇，確定具體的設(shè)計(jì)參數(shù)根據(jù)微弱信號檢測的相關(guān)原理，在低頻信號測量時，電阻值越高，其相應(yīng)的電阻熱噪聲和閃爍噪聲也就越高，不利于信號的提取和檢測[1]。所以，可以通過減少敏感膜電阻值的方法，實(shí)現(xiàn)對氣體敏感傳感器的信號噪聲比的提高，從而減小噪聲對測量信號的干擾。根據(jù)電阻的計(jì)算公式，影響阻值變化的因素主要有電阻率、電阻長度及橫截面積等。一般情況下，氣體敏感材料薄膜的電阻率較高，因此減小敏感膜電阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的寬長比。但是，敏感膜的厚度太大會降低氣體敏感傳感器的響應(yīng)時間。因此，綜合考慮到響應(yīng)時間和信噪比，需要設(shè)計(jì)優(yōu)化氣體敏感傳感器中微電極的厚度和長寬比。

硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T 參數(shù)

真空腔體
類型	高溫型室溫到350℃	高低溫型室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺尺寸	26x26mm
樣品臺加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差	±0.5℃
樣品臺升溫速率	高溫100℃/min 值低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時溫度曲線+歷史溫度曲線可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程	20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動行程	120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿）