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多種氣體流量計混合配比器

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更新時間:2024-04-28 09:59:28瀏覽次數(shù):173次

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產(chǎn)品簡介

多種氣體流量計混合配比器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、食品、航空電力等行業(yè),已經(jīng)成為支撐各工業(yè)領(lǐng)域行業(yè)發(fā)展的重要設(shè)備。

詳細(xì)介紹

  多種氣體流量計混合配比器模擬式質(zhì)量流量控制器是是中國早的氣體測控產(chǎn)品,迄今為止已經(jīng)30多年。 產(chǎn)品種類50余種,涵蓋數(shù)字型,普通型,大量程型,高精度型,快響應(yīng)型,耐壓型,金屬密封型等多種類型的需求。產(chǎn)品歷經(jīng)市場考驗,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、食品、航空電力等行業(yè),已經(jīng)成為支撐各工業(yè)領(lǐng)域行業(yè)發(fā)展的重要設(shè)備。

產(chǎn)品用途;
 
多種氣體流量計混合配比器和氣體質(zhì)量流量計(MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密控制和測量。它們在半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 集成電路工 藝設(shè)備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設(shè)備、 光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進行 精密控制和測量。它們在半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 集成電路工 藝設(shè)備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。


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