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桌面高溫蒸鍍儀

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更新時間：2024-04-26 14:57:53瀏覽次數(shù)：65次

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鄭州科探儀器設備有限公司

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產品簡介

桌面高溫蒸鍍儀，通過加熱蒸發(fā)某種物質使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術是歷史最悠久的PVD鍍膜技術之一

詳細介紹

桌面高溫蒸鍍儀，

分別用鎢坩堝和玻璃碳涂層坩堝蒸鍍金膜,采用EDS分析金膜表面黑色顆粒的主要成分.對比金膜表面黑色顆粒分布的密度;根據(jù)兩種坩堝蒸金膜時的物理學特征不同,研究黑色顆粒產生的機理,解釋碳玻璃涂層坩堝蒸金黑色顆粒較多的原因;并利用玻璃碳坩堝采取不同的工藝條件進行對比試驗,成功減少了金膜表面的黑色顆粒,為教學實驗、真空鍍膜工藝和集成電路生產領域蒸鍍高質量的金膜提供幫助.

原樣品沒有鍍膜 115A 100秒機械泵

115A 100秒分子泵抽12分鐘 115A 120秒分子泵抽20分鐘

真空度越高越不易氧化越接近金屬本色

桌面高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制
加熱方式	數(shù)字式功率調整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1200W
輸出電壓電流	電壓≤12V 電流≤120A
真空度	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤10^-3Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺	可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉速	8轉/分鐘
樣品蒸發(fā)源調節(jié)距離	70-140mm
蒸發(fā)溫度調節(jié)	≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型	鎢絲藍帶坩堝鎢絲藍鎢舟碳繩
預留真空接口	KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
可選配擴展	機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）