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高精度流量計(jì)氣體配比器

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高精度流量計(jì)氣體配比器，觸摸屏控制七星質(zhì)量流量計(jì)，分段流量設(shè)置，操作簡(jiǎn)單，數(shù)據(jù)備份可記錄工藝儲(chǔ)存

詳細(xì)介紹

高精度流量計(jì)氣體配比器

CS系列產(chǎn)品采用了先的技術(shù),申報(bào)并獲得66項(xiàng)國(guó)家z利,其中PCT2項(xiàng),發(fā)明z利24項(xiàng)。CS 系列產(chǎn)品的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn),相對(duì)于模擬產(chǎn)品具有精度高,響應(yīng)快,使用便捷，可實(shí)現(xiàn)功能多、易于通訊、擴(kuò)展性和可兼容性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。CS系列產(chǎn)品已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、燃料電池、真空、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、航空電力等行業(yè)。

高精度流量計(jì)氣體配比器資料 ;

產(chǎn)品型號(hào)	KT-PCS4Z	KT-C4ZS
氣體通道	4進(jìn)1出	4進(jìn)1出
	可根據(jù)需求定制
產(chǎn)品類(lèi)型	高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制
可選量程	20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶(hù)需要可選)
產(chǎn)品精度	高精度型±1％F.S	普通型±1％F.S
重復(fù)精度	高精度型±0.2% F.S	普通型±0.2% F.S
線性	高精度型±0.5% F.S.	普通型±1% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	高精度型≤2sec	普通型≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
供電電源	~85-265VAC 50/60Hz
功耗	40W
進(jìn)氣口壓	≤0.6MPa
連接管道	316不銹鋼管道
截止閥類(lèi)型	電磁閥
單向閥開(kāi)啟壓力	0.02Mpa
壓力顯示量程	0-0.6Mpa
控制方式	7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
時(shí)間設(shè)定	0-32000分鐘
清洗功能	一鍵清洗
程序控制	5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值)
壓力顯示	有（出氣壓力檢測(cè)且有壓力上限設(shè)置過(guò)壓切斷總輸出氣路）
氣體混合罐	有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）
氣體加熱	無(wú)（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)）
流量累計(jì)	有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量）
可選進(jìn)出氣口接頭形式	3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
抗電磁干擾	有
外形尺寸	550x380x400mm
重量	18KG～20KG