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減震真空探針臺(tái)

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產(chǎn)品簡介

減震真空探針臺(tái)，配減震臺(tái)，常規(guī)搭配4探針，鍍金鎢針，探針尖10μm，搭配電子顯微鏡

詳細(xì)介紹

減震真空探針臺(tái)，

減震臺(tái)采用6mm厚1Cr17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼，均布25mm孔距M6螺紋孔，臺(tái)面布M6螺孔陣距25mm×25mm，振幅≤5um，臺(tái)面平整精度0.1mm/m² ，表面粗糙度0.8μm-1μm，固有頻率垂直3～6Hz 水平3～6Hz ，負(fù)載重量1200kg。

探針臺(tái)機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa，加熱臺(tái)溫度 196-350℃，探針臂精度≤0.01mm

減震真空探針臺(tái)

真空腔體
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側(cè)開
加熱臺(tái)材質(zhì)	304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸	φ160x90mm
觀察窗尺寸	Φ70mm
加熱臺(tái)尺寸	φ60mm
觀察窗熱臺(tái)間距	75mm
加熱臺(tái)溫度	﹣196~350℃
加熱臺(tái)溫控誤差	±1℃
真空度	機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓	≤0.1MPa
真空抽氣口	KF25真空法蘭
氣體進(jìn)氣口	3mm-6mm卡套接頭
電信號(hào)接頭	SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
探針數(shù)量	4探針
探針材質(zhì)	鎢針
探針尖	10μm
探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動(dòng)行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸移動(dòng)行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡
物鏡倍數(shù)	0.7-4.5倍
工作間距	90mm
相機(jī)	sony 高清
像素	1920※1080像素
圖像接口	VGA
LED可調(diào)光源	有
顯示屏	8寸
放大倍數(shù)	19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm