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微型高低溫真空探針臺3

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：微型高低溫真空探針臺，這款真空變溫探針臺是專業(yè)變溫真空晶圓流測試設(shè)計(jì)的專業(yè)變溫真空探針臺,滿足晶圓變溫光電測試需要,測試溫度范圍達(dá)到液氮溫度 -190℃~350℃,特別適合*溫和極低溫環(huán)境下晶圓真空變溫測試和射頻測試。

詳細(xì)介紹

微型高低溫真空探針臺KT-0904T-RL是一款高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺，功能齊全，價(jià)格較低等特點(diǎn)。

高性價(jià)比真空高低溫探針臺系統(tǒng)

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司為用戶提供了高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺，該系統(tǒng)配置了溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的溫度控制，節(jié)約用戶的設(shè)備預(yù)算。

配套了高精度PID溫度控制器，用戶可以清楚直觀地了解了整體系統(tǒng)相關(guān)位置的溫度情況，確保溫度測試的可靠性。同時(shí)，200W 大功率直流輸出，可讓樣品臺快速從-196℃上升至400℃，極大地提供了溫控效率，為用戶節(jié)省大量寶貴的實(shí)驗(yàn)時(shí)間。由于系統(tǒng)中溫控部件均為直流配置，也大大地減少了加熱部件的干擾，提供了系統(tǒng) 的漏電精度。

<strong><strong>微型高低溫真空探針臺</strong></strong>3軸2.png

真空變溫探針臺特點(diǎn)
測試溫度：-190℃~350℃
適合高功率器件測試20kV DC/200A
即使在真空狀態(tài)下，也可以使用外部操作型定位器（探頭）移動致動器
良好的光和電屏蔽效果
KT-0904T-RL型探針臺可用于霍爾效應(yīng)測量

微型高低溫真空探針臺KT-0904T-RL技術(shù)參數(shù)；

真空腔體
類型	加熱型350℃ 或者加熱制冷型室溫到350℃ 室溫到-190℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
腔體內(nèi)尺寸	φ90x40mm
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
腔體抽氣口	KF16
腔體進(jìn)氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體出氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)	304不銹鋼
樣品臺尺寸	26X26mm
樣品臺-視窗距離	30mm（可選凹視窗間距15mm）
樣品臺測溫傳感器	A 級PT100鉑電阻
樣品臺溫度	室溫到350℃（可選高低溫樣品臺高溫350℃低溫-190℃）
樣品臺測溫誤差	±0.2℃
樣品臺變溫速率	高溫10℃/min 低溫5℃/min 值
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100熱電阻（可選 K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線
探針
電信號接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可定做6探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	12mm ±6mm
X軸控制精度	≤5μm
Y軸移動行程	12mm ±6mm
Y軸控制精度	≤5μm
Z軸移動行程	12mm ±6mm
Z軸控制精度	≤5μm
數(shù)碼顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡放大+電子放大
顯微鏡放大倍數(shù)	100倍
顯微鏡工作間距	50-150mm
相機(jī)分辨率	1080P 60幀
相機(jī)信號輸出	HDMI輸出+USB輸出
LED可調(diào)光源	LED光源
顯示屏	5寸屏幕一體機(jī)