小型真空探針臺(tái)鄭州科探KT-Z4019MRL4T
高性價(jià)比真空高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司為用戶提供了高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺(tái)，該系統(tǒng)配置了溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的溫度控制，節(jié)約用戶的設(shè)備預(yù)算。
配套了高精度PID溫度控制器，用戶可以清楚直觀地了解了整體系統(tǒng)相關(guān)位置的溫度情況，確保溫度測(cè)試的可靠性。同時(shí)，200W 大功率直流輸出，可讓樣品臺(tái)快速從-196℃上升至400℃，極大地提供了溫控效率，為用戶節(jié)省大量寶貴的實(shí)驗(yàn)時(shí)間。由于系統(tǒng)中溫控部件均為直流配置，也大大地減少了加熱部件的干擾，提供了系統(tǒng) 的漏電精度。
高性能、寬溫度范圍的高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)
除了高性價(jià)比入門級(jí)配置，鄭州科探儀器設(shè)備有限公司還為用戶研發(fā)了高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定且高效的溫度控制。
真空高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)，使用國際上*溫度控制系統(tǒng)和傳感器，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度），溫度穩(wěn)定性可達(dá)0.1K。
多種真空度可選的高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)
高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測(cè)試而無凝露或結(jié)霜。對(duì)于選用了入門級(jí)配置的用戶，可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對(duì)于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺(tái)系統(tǒng)可達(dá)10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測(cè)試要求。
為了減少泵組的振動(dòng)，我們還專門為用戶設(shè)計(jì)了隔振器，一定程度地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。
可選多種樣品臺(tái)配置
普通的樣品夾具。們也提供同軸或三同軸配置的樣品夾具，用于超低漏電測(cè)試應(yīng)用中。純銀探針臺(tái)，導(dǎo)熱性更好，不易氧化，增強(qiáng)樣品的導(dǎo)電性能。
小型真空探針臺(tái)鄭州科探KT-Z4019MRL4T參數(shù)
真空腔體 |
類型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） |
腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 |
腔體水冷接口 |
|
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
樣品臺(tái) |
樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm |
樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） |
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型熱電阻 |
樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ |
樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 值 低溫7℃/min |
溫控儀 |
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 |
溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號(hào)輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm |
溫控器重量 | 約5.6KG |
探針 |
電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數(shù)量 | 4探針（可擴(kuò)展5探針） |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） |
探針尖 | 10μm |
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) |
X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)） |
X軸控制精度 | ≥500μm |
R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿） |
R軸控制精度 | ≥500μm |
Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿） |
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