簡要描述：KT-Z1650PVD是一款鄭科探實驗室小型濺射儀功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節(jié)，及電動擋板功能。通過定時調節(jié)預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。

詳細介紹

KT-Z1650PVD是一款鄭科探實驗室小型濺射儀功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節(jié)，及電動擋板功能。通過定時調節(jié)預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。

鄭科探實驗室小型濺射儀詳細介紹；

控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
極限真空	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺	可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉速	8轉/分鐘
樣品濺射源調節(jié)距離	40-105mm
真空測量	皮拉尼真空計（已安裝測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口

鄭州科探儀器設備有限公司是集開發(fā)、制造、經營為一體的材料設備創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產品已經遍布國內大多數實驗室及校，科探儀器已經成為老師同學和信任的品牌。公司以科技創(chuàng)新為主，服務社會為宗旨，積極設計開發(fā)新型材料制備設備，奉獻于教育和科學，經過長期的研發(fā)和不斷地技術積累，擁有熱工，制造，控制相關技術10余項，為化學，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師同學強強聯合，形成了有效的信息，技術交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！

關鍵詞：人機界面真空計

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