簡要描述：KT-Z1650CVD石英腔體小型濺射儀是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節(jié)，及電動擋板功能。通過定時調節(jié)預熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

詳細介紹

鄭州科探儀器設備有限公司是集開發(fā)、制造、經營為一體的材料設備創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產品已經遍布國內大多數國家重點實驗室及校，科探儀器已經成為老師同學歡迎和信任的品牌之一。公司以科技創(chuàng)新為主，服務社會為宗旨，積極設計開發(fā)新型材料制備設備，奉獻于教育和科學，經過長期的研發(fā)和不斷地技術積累，擁有熱工，制造，控制相關技術10余項，為化學，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師同學強強聯合，形成了有效的信息，技術交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！

目前公司已研發(fā)生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐 CVD供氣系統(tǒng) 等離子清洗機 石英腔體小型濺射儀 石英腔體小型蒸鍍儀 石英管真空封口半導體檢測等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

KT-Z1650CVD石英腔體小型濺射儀是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節(jié)，及電動擋板功能。通過定時調節(jié)預熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀技術介紹：

針對市場上其它型號石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀我們做如下改進

1 腔體擴充口可增加擴展口大可擴展KF40接口方便連接分子泵或晶控傳感器

2 樣品可旋轉大轉速20轉每分鐘使鍍膜樣品更均勻

3 輕旋轉機械手柄樣品高度可精細調節(jié) 樣品距離靶材距離可精確到1mm

4 電動擋板使用人機界面程序控制打開或者關閉時間

5 可通過人機界面手動或者使用編程自動控制預蒸發(fā) 恒定功率輸出變換功率輸出定時打開擋板（時間單位秒）關閉擋板樣品轉速工藝可存儲工藝名稱可改利如鍍銀200納米厚

6 此產品已申請多項技術抄襲請慎重?。。?/span>

控溫方式	數字式功率調整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
大功率	≤800W
大輸出電壓電流	電壓≤10V 電流≤80A
真空度	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
擋板類型	電控
樣品室	石英腔體φ160mm x 160mm
樣品臺	可旋轉φ62 （大可安裝φ50基底）
樣品臺轉速	8轉/分鐘
樣品熱源調節(jié)距離	70-140mm
蒸發(fā)溫度調節(jié)	≤1600℃
蒸發(fā)坩堝容積	3ML
真空法蘭	KF25抽氣口 KF25擴展口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
可選配擴展	1 膜厚在線測試 2 分子泵